[发明专利]一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置

权利要求书

1.一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，包括：

加热组件，用于热辐射晶圆盒(1)中处于表面的物件；

测温组件，用于获取晶圆盒(1)中处于表面的物件的温度变化曲线；

处理器，用于根据温度变化曲线识别晶圆盒(1)中处于表面的物件的种类。

2.根据权利要求1所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的加热组件通过加热支架(2)架设在晶圆盒(1)正上方。

3.根据权利要求1所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的加热组件包括加热板(3)以及设置在加热板(3)中的加热棒(4)，所述的加热板(3)与晶圆盒(1)顶部开口平面平行设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的加热棒(4)均匀设置多根。

5.根据权利要求1所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，该装置还设有温度控制组件，所述的温度控制组件连接所述的加热组件。

6.根据权利要求5所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的温度控制组件包括测温器和加热控制器，所述的测温器设置在加热组件上并测量加热组件的实时温度，所述的测温器和加热组件均连接至所述的加热控制器。

7.根据权利要求6所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的测温器包括热电偶(5)。

8.根据权利要求1所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的测温组件包括无接触测温传感器，所述的无接触测温传感器对准晶圆盒(1)中处于表面的物件。

9.根据权利要求8所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的无接触测温传感器包括红外线温度传感器(6)。

10.根据权利要求8所述的一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，其特征在于，所述的无接触测温传感器通过测温支架(7)架设在在晶圆盒(1)上方，所述的测温支架(7)上设有用于安装无接触测温传感器的安装孔(8)，所述的无接触测温传感器感温区穿过所述的安装孔(8)并对准晶圆盒(1)中处于表面的物件。