[发明专利]测辐射热计的新型陶瓷封装在审
申请号: | 202011615768.1 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN112802908A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 黄树红 | 申请(专利权)人: | 深圳市联科威科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/101;G01J5/20;G01J5/02 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 杨艳霞 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辐射热 新型 陶瓷封装 | ||
1.测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于,包括晶圆片,在所述晶圆片内安装传感器单元或在晶圆片上方安装传感器单元,所述晶圆片位于安装传感器单元位置对称设置有衬垫,所述衬垫位置粘和连接有锡球,之后,将所述晶圆片锯成小片,小片即测辐射热计,将小片放置于陶瓷中封装,陶瓷中内对称设置有陶瓷垫,将测辐射热计上粘和的锡球再粘和连接到陶瓷垫上,然后进行真空包装和透镜覆盖。
2.根据权利要求1所述的测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于:除了上面描述的基本封装方法外,在基本方法上也做了一些其他变化,第一种变化是在陶瓷内部和测辐射热计传感元件之间增加反射层,且反射层与陶瓷粘合连接。
3.根据权利要求1所述的测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于:除了上面描述的基本封装方法外,在基本方法上也做了一些其他变化,第二种变化是在测辐射热计粘合的锡球上再粘合连接一个中介层,并在中介层的另一端粘合连接到陶瓷封装中的垫片。
4.根据权利要求3所述的测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于:除了上面描述的基本封装方法外,在基本方法上也做了一些其他变化,第三种变化是对第二种变化的进一步修改,在测辐射热计传感元件和中介层之间增加反射层,其反射层与中介层呈内嵌设置。
5.根据权利要求1所述的测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于:除了上面描述的基本封装方法外,在基本方法上也做了一些其他变化,第四种变化是在传感器的切片中集成CMOS电路。
6.根据权利要求1所述的测辐射热计的新型陶瓷封装,其特征在于:除了上面描述的基本封装方法外,在基本方法上也做了一些其他变化,第五种变化是对第四种变化的进一步修改,在陶瓷内部和测辐射热计传感元件之间增加反射层。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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