[发明专利]一种可拉伸光电探测器及其制备方法在审
| 申请号: | 202011613203.X | 申请日: | 2020-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN112701225A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
| 发明(设计)人: | 徐海华;唐铃怡 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
| 主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/00;H01L51/48;B82Y40/00;B82Y10/00 |
| 代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 刘芙蓉 |
| 地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 拉伸 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
本发明公开一种可拉伸光电探测器及其制备方法,包括衬底,间隔设置在衬底上的源极、漏极和栅极,设置在源极和漏极之间的有源层,设置在有源层和栅极上的介电层,所述衬底的材料为氢化苯乙烯‑丁二烯嵌段共聚物。本发明中,由于氢化苯乙烯‑丁二烯嵌段共聚物具有透明性、热稳定性、扯断拉伸强度高的特点,使得光电探测器具有可拉伸性,可适应设备各种形变的需求。所述衬底、有源层和介电层均可由溶液法制备,操作简单,成本低廉。
技术领域
本发明涉及光电传感器领域,尤其涉及一种可拉伸光电探测器及其制备方法。
背景技术
早在几十年前,人们就开始使用可穿戴电子设备,如助听器已是很常见的可穿戴电子设备,可穿戴电子设备有较大的机械灵活性,能满足人体对于设备的形变需求。如今,对可穿戴电子设备的研究还在继续改进。可见,可穿戴器件已成为现代电子器件发展的必然趋势,在通讯、显示等领域都有着广泛应用。光电探测器在很多领域上具有广泛的应用,便携、柔性的光电探测器是光电探测领域的发展趋势,它们能够让人们便利地对光进行探测。但是传统光电探测器件由于其材料和制备方法的限制,通常显示出非柔性的特点,而对于光电探测器来说,在不损害光电探测器的光电性能的同时,使器件具有可拉伸性,这对于晶体管结构的光电探测器的衬底和有机半导体材料来说都是新的挑战和要求,这些限制了光电探测器的使用范围。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种可拉伸光电探测器及其制备方法,旨在解决现有光电探测器可拉伸性差,不能满足设备形变需求的问题。
本发明的技术方案如下:
一种可拉伸光电探测器,包括衬底,间隔设置在衬底上的源极、漏极和栅极,设置在源极和漏极之间的有源层,设置在有源层和栅极上的介电层,所述衬底的材料为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SEBS)。
可选地,所述有源层具有纳米纤维网络结构。
可选地,所述有源层由聚合物与绝缘基质共混制成。
可选地,所述聚合物与绝缘基质的质量比为1:9~9:1。
可选地,所述聚合物与绝缘基质的质量比为1:9~3:7。
可选地,所述聚合物为聚-3-己基噻吩(P3HT)与[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯(PC61BM)的共混物。
可选地,所述绝缘基质为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SEBS)。
可选地,所述介电层为离子凝胶薄膜。
可选地,所述源极、漏极和栅极采用铬金合金电极。
一种如上所述的可拉伸光电探测器的制备方法,其中,包括步骤:
提供基底;
在基底上制备衬底;
在衬底上制备源极、漏极和栅极;
在源极和漏极之间制备有源层;
在有源层和栅极上制备介电层;
将衬底从基底上剥离,得到所述可拉伸光探测器。
有益效果:本发明提供一种可拉伸光电探测器及其制备方法,本发明利用热塑性弹性体氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物作为可拉伸衬底,其扯断拉伸强度高,使得光电探测器具有可拉伸性,可适应设备各种形变的需求。
附图说明
图1a、图1b、图1c分别为SEBS、P3HT和PC61BM的分子结构式。
图2为本发明实施例提供的一种可拉伸光电探测器的结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





