[发明专利]一种可拉伸光电探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011613203.X 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112701225A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 徐海华;唐铃怡 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/00;H01L51/48;B82Y40/00;B82Y10/00
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 刘芙蓉
地址: 518060 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 拉伸 光电 探测器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种可拉伸光电探测器,其特征在于,包括衬底,间隔设置在衬底上的源极、漏极和栅极,设置在源极和漏极之间的有源层,设置在有源层和栅极上的介电层,所述衬底的材料为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物。

2.根据权利要求1所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述有源层具有纳米纤维网络结构。

3.根据权利要求2所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述有源层由聚合物与绝缘基质共混制成。

4.根据权利要求3所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述聚合物与绝缘基质的质量比为1:9~9:1。

5.根据权利要求4所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述聚合物与绝缘基质的质量比为1:9~3:7。

6.根据权利要求3所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述聚合物为聚-3-己基噻吩与[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯的共混物。

7.根据权利要求3所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述绝缘基质为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物。

8.根据权利要求1所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述介电层为离子凝胶薄膜。

9.根据权利要求1所述的可拉伸光电探测器,其特征在于,所述源极、漏极和栅极均采用铬金合金电极。

10.一种权利要求1-9任一项所述可拉伸光电探测器的制备方法,其特征在于,包括步骤:

提供基底;

在基底上制备衬底,所述衬底的材料为氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物;

在衬底上制备源极、漏极和栅极;

在源极和漏极之间制备有源层;

在有源层和栅极上制备介电层;

将衬底从基底上剥离,得到所述可拉伸光探测器。

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