[发明专利]刻蚀烘烤设备的外延片载具

权利要求书

1.一种刻蚀烘烤设备的外延片载具，其特征在于，所述外延片载具包括：基座(1)和放片支架(2)，

所述放片支架(2)包括第一立板(21)、第二立板(22)和放片组件(23)，所述第一立板(21)和所述第二立板(22)通过第一连接件(24)平行且相对设置，所述放片组件(23)设置在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间以在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间层叠放置若干外延片；

所述放片支架(2)通过所述第一立板(21)和所述第二立板(22)可拆卸地安装在所述基座(1)上。

2.根据权利要求1所述的外延片载具，其特征在于，所述基座(1)包括：第一基板(11)和第二基板(12)，

所述第一基板(11)和所述第二基板(12)通过第二连接件(13)平行且相对设置，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的相对面上均设有放置槽(14)；

所述第一立板(21)与所述第一基板(11)上的放置槽(14)相配合，所述第二立板(22)与所述第二基板(12)上的放置槽(14)相配合。

3.根据权利要求2所述的外延片载具，其特征在于，所述第一基板(11)和所述第二基板(12)均包括相对且平行的第一侧边(111)和第二侧边(112)，

所述第一基板(11)和所述第二基板(12)的上均设有若干气流孔(15)，

所述放置槽(14)靠近所述第一侧边(111)，所述气流孔(15)靠近所述第二侧边(112)。

4.根据权利要求2所述的外延片载具，其特征在于，所述放片组件(23)包括：四根第一支撑杆(231)，

所述四根第一支撑杆(231)相平行地夹设在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)之间，每根第一支撑杆(231)的两端分别连在所述第一立板(21)和所述第二立板(22)上，

每根第一支撑杆(231)的外壁在径向设有第一卡槽(232)，每根第一支撑杆(231)上的第一卡槽(232)的数量为多个且沿每根第一支撑杆(231)的轴向间隔分布，每根第一支撑杆(231)在同一平面下的第一卡槽(232)截面的槽底连线与外延片的部分外轮廓相配合。

5.根据权利要求4所述的外延片载具，其特征在于，所述第一卡槽(232)包括槽口(233)和与所述槽口(233)连通的沟槽(236)，

所述槽口(233)包括相对的第一斜面(234)和第二斜面(235)，所述第一斜面(234)和所述第二斜面(235)分别与所述沟槽(236)的两侧侧壁连接，

所述第一斜面(234)和所述第二斜面(235)之间的距离随所述第一卡槽(232)的深度变小而变大。

6.根据权利要求5所述的外延片载具，其特征在于，所述第一斜面(234)与所述第二斜面(235)之间的夹角为60°。

7.根据权利要求5所述的外延片载具，其特征在于，所述沟槽(236)的宽度等于外延片的厚度。