[发明专利]用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法

说明书

本发明公开了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，该方法包括如下步骤：获取晶圆的MAP图；从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项；计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移。本发明MAP图偏移检测方法能够及时发现MAP图出现偏移的情况。

技术领域

本发明涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法。

背景技术

目前，在对晶圆进行测试时，会为测试的晶圆建立MAP图，MAP图的各坐标点分别对应晶圆的各晶粒，MAP图的各坐标点根据测试结果会分别生成相应的BIN项，对于一些测试失败的晶粒，在对应的坐标点则会生成失败BIN项(FAILED BIN项)。如果MAP图向某一个方向发生偏移，则在MAP图的设定坐标区域的对应位置会大量出现失败BIN项。如图1所示，MAP图因为意外向下偏移了两个单位(由区域1和区域2偏移至了区域2和区域3)，导致对应进入系统中的资料与该产品原标准的衬底原始坐标相比较，发生了偏移，相应的，区域1中的坐标点的所有BIN项均为设定的失败BIN项。

因此，有必要提供一种能够用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，能够检测出MAP图出现的偏移情况。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，能够检测出MAP图出现的偏移情况。

为实现上述目的，本发明提供了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，其包括：

获取晶圆的MAP图；

从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项；

计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；

判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移。

可选地，所述预设基准值根据MAP图偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立。

可选地，所述预设基准值根据MAP图在各方向偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例中的最小值建立。

可选地，所述MAP图偏移检测方法还建立有MAP图偏移两个或以上单位时的预设比例值，所述预设比例值根据所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立。

可选地，在判断MAP图发生偏移之后，还包括发出提示信息。

为实现上述目的，本发明还提供了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测系统，包括：

第一获取模块，用于获取晶圆的MAP图；

第二获取模块，用于从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项；

计算模块，用于计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；

判断模块，用于判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移。

为实现上述目的，本发明还提供了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测装置，包括：

一个或多个处理器；

一个或多个存储器，用于存储一个或多个程序，当一个或多个所述程序被所述处理器执行，使得所述处理器实现如上所述的用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法。