[发明专利]用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法有效
| 申请号： | 202011585192.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112683210B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐展菲;庄启陞;张亦锋 | 申请（专利权）人： | 上海利扬创芯片测试有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;刘光明 |
| 地址： | 200000 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 测试 map 偏移 检测 方法 | ||
1.一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，其特征在于，包括：
获取晶圆的MAP图；
从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项，所述设定坐标区域为MAP图没发生偏移的情况下所对应的坐标区域；
计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；
判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移；
所述预设基准值根据MAP图偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立；
还建立有MAP图偏移两个或以上单位时的预设比例值，所述预设比例值根据所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立。
2.如权利要求1所述的用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，其特征在于，所述预设基准值根据MAP图在各方向偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例中的最小值建立。
3.如权利要求1所述的用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，其特征在于，在判断MAP图发生偏移之后，还包括发出提示信息。
4.一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测系统，其特征在于，包括：
第一获取模块，用于获取晶圆的MAP图；
第二获取模块，用于从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项，所述设定坐标区域为MAP图没发生偏移的情况下所对应的坐标区域；
计算模块，用于计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；
判断模块，用于判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移；
所述预设基准值根据MAP图偏移一个单位时，所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立；
还建立有MAP图偏移两个或以上单位时的预设比例值，所述预设比例值根据所述设定坐标区域最外围N圈内的坐标点的所有BIN项中含有的因偏移而产生的失败BIN项的比例建立。
5.一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测装置，其特征在于，包括：
一个或多个处理器；
一个或多个存储器，用于存储一个或多个程序，当一个或多个所述程序被所述处理器执行，使得所述处理器实现如权利要求1至3任一项所述的用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法。
6.一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至3任一项所述的用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法。
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