[发明专利]厚尺寸红外光学材料的制备方法

权利要求书

1.一种厚尺寸红外光学材料的制备方法，其特征在于，所述厚尺寸红外光学材料的制备方法是采用现有的化学气相沉积炉以及热等静压炉进行制备，包括步骤：

(S1)：以化学气相沉积法获得的红外光学材料为基板，对基板进行研磨抛光，在该步骤中，基板为经由一次化学气相沉积直接得到的硫化锌产品，由于设备及工艺的限制，得到的基板的厚度为10mm-30mm；

(S2)：对基板进行等离子清洗；

(S3)：将基板放置于化学气相沉积炉的沉积室中，向化学气相沉积炉中的坩埚内装入高纯度的反应固体，所述反应固体为锌；

(S4)：对化学气相沉积炉进行抽真空；

(S5)：将沉积室温度缓慢升至600-850℃之间；将坩埚的温度缓慢升至500-800℃，其中坩埚内的反应固体转化为蒸气；

(S6)：分别以反应固体的蒸气、反应气体为原料，所述反应气体为硫化氢，以氩气作为反应固体的蒸气和反应气体的载气通入沉积室，其中，携带反应气体的氩气的流量与反应气体流量的比例范围为10-25；携带蒸气的氩气的流量与蒸气流量的比例范围为3-10；在沉积过程中，反应固体的蒸气与反应气体的摩尔比例为1.0-1.5；

(S7)：坩埚内的反应固体蒸发完毕，停止向沉积室通入反应气体，对沉积室和坩埚进行降温，得到厚尺寸板料，在步骤(S7)中，得到的厚尺寸板料的厚度为30-60mm；

(S8)：对厚尺寸板料研磨抛光，然后放置于热等静压炉中进行热等静压处理，恒温恒压处理时间为40-250h；

(S9)：处理结束后对热等静压炉降温降压然后出炉，最终获得厚尺寸红外光学材料，在步骤(S9)中，厚尺寸红外光学材料的厚度为30-60mm。

2.根据权利要求1所述的厚尺寸红外光学材料的制备方法，其特征在于，在步骤(S1)中，经过研磨抛光的基板的粗糙度小于Ra12.5。

3.根据权利要求1所述的厚尺寸红外光学材料的制备方法，其特征在于，在步骤(S5)中，沉积室的升温速率为0.2℃-1.5℃/min；坩埚的升温速率为0.5℃-3℃/min。

4.根据权利要求1所述的厚尺寸红外光学材料的制备方法，其特征在于，在步骤(S6)中，在沉积过程中，氩气携带的反应固体蒸气与氩气携带的反应气体在沉积室内发生化学反应生成生成物，控制生成物的沉积速率为20-100μm/h。