[发明专利]一种用于真空腔室的门体结构

说明书

本发明公开了一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，所述安装部上设有多个固定气缸，所述固定气缸朝向真空腔室的方向设置，当所述本体封闭所述开口时，所述固定气缸的端部抵触在所述本体上，将所述本体压紧在真空腔室的外壁上；所述本体底部连接有导向装置，所述导向装置分别于所述本体和真空腔室连接，位于所述开口下方的位置处。本发明具有结构简单、拆装便捷、连接稳固以及状态切换效率高的优点，有效地解决了现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。

技术领域

本发明涉及真空腔室门体结构技术领域，尤其涉及一种用于真空腔室的门体结构。

背景技术

金属的镀膜工艺需要将镀膜腔室采用真空泵将腔室进行抽真空处理，然后通过门体结构上的观察窗观看金属的镀膜情况。目前，金属的镀膜生产线的腔室门体结构主要是的用于将金属钢卷以及送料车送入镀膜腔室内后，密封镀膜腔室，致使镀膜腔室可以进行抽真空处理，以便后续的镀膜。

由于传统的真空镀膜生产线的门体结构与镀膜腔室的连接处均要设置连接结构，导致门体结构在实现打开镀膜腔室上料和密封镀膜腔室镀膜的状态切换时需要人工对连接结构进行安装和拆卸，费时费力。

因此，有必要研究一种能够只需门体结构与镀膜腔室的开口重合即可实现门体结构与镀膜腔室的连接和密封的门体结构，解决上述技术问题。

发明内容

本发明目的在于提供一种用于真空腔室的门体结构，用以解决现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。

为了达到上述目的，本发明提供的一种用于真空腔室的门体结构，具体实施方案如下：

一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，所述安装部上设有多个固定气缸，所述固定气缸朝向真空腔室的方向设置，当所述本体封闭所述开口时，所述固定气缸的端部抵触在所述本体上，将所述本体压紧在真空腔室的外壁上；所述本体底部连接有导向装置，所述导向装置分别于所述本体和真空腔室连接，位于所述开口下方的位置处。

目前，现有的真空镀膜生产线的真空腔室的门体结构是通过在门体上设置和真空腔室机械连接的结构实现真空腔室的封闭和打开，将需要镀膜的金属钢带送入真空腔室内，或将镀膜后的金属钢带从真空腔室内取出，每次在打开或封闭真空腔室时，都需要人工将连接门体和真空腔室的机械连接结构拆卸或安装，使得门体和真空腔室实现分离和连接的状态切换，费时费力，不便于镀膜生产线的效率提高。

本发明的一种用于真空腔室的门体结构，相对于现有技术，通过在真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，安装部上设有多个朝向真空腔室设置的固定气缸，固定气缸在本体封闭真空腔室的开口时，用于压紧本体，使得本体抵触在真空腔室的外壁上，在本体和真空腔室分离时，对本体的分离距离进行限制，避免本体与其底部的导向装置脱离，无法通过导向装置带动本体沿真空腔室位移，打开开口放入或取出金属钢带。使得本体和真空腔室的连接只需通过导向装置带动本体与开口重合，启动固定气缸压紧本体即可，本体和真空腔室的分离，只需关闭固定气缸，通过导向装置带动本体和开口错开即可，结构简单，连接稳固，拆装便捷快速。有效地现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。

作为本发明的进一步改进，所述固定气缸的活塞杆处套接有压块。

作为本发明的进一步改进，所述导向装置包括导轨、滑块、挡板以及连接块，所述导轨设于所述真空腔室的外壁上，位于所述开口的下方，所述滑块可活动套设在所述导轨上，所述滑块的上方连接有所述挡板，所述挡板与所述连接块连接，所述连接块设于所述本体的底部。