[发明专利]一种用于真空腔室的门体结构

权利要求书

1.一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室(7)开口处的本体(1)，其特征在于，所述真空腔室(7)的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部(71)，所述安装部(71)上设有多个固定气缸(2)，所述固定气缸(2)朝向真空腔室(7)的方向设置，当所述本体(1)封闭所述开口时，所述固定气缸(2)的端部抵触在所述本体(1)上，将所述本体(1)压紧在真空腔室(7)的外壁上；所述本体(1)底部连接有导向装置(3)，所述导向装置(3)分别于所述本体(1)和真空腔室(7)连接，位于所述开口下方的位置处。

2.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述固定气缸(2)的活塞杆处套接有压块(21)。

3.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述导向装置(3)包括导轨(31)、滑块(32)、挡板(33)以及连接块(34)，所述导轨(31)设于所述真空腔室(7)的外壁上，位于所述开口的下方，所述滑块(32)可活动套设在所述导轨(31)上，所述滑块(32)的上方连接有所述挡板(33)，所述挡板(33)与所述连接块(34)连接，所述连接块(34)设于所述本体(1)的底部。

4.根据权利要求3所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述挡板(33)靠近所述本体(1)的一侧设有连接部(332)，所述连接部(332)底部与所述滑块(32)连接，顶部连接所述连接块(34)。

5.根据权利要求4所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述连接块(34)底部设有向两侧延伸的插杆(341)，所述挡板(33)上设有向上延伸的凸块(331)，所述凸块(331)内设有供所述插杆(341)插接的通孔，当所述连接块(34)和所述挡板(33)连接时，所述凸块(331)位于所述连接块(34)的两侧位置处，所述插杆(341)可转动插入所述通孔内。

6.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述本体(1)的顶部设有导向槽(11)，所述安装部(71)上设有多个限位杆(4)，所述限位杆(4)端部设有与所述导向槽(11)相配合的滑动轮(41)，所述滑动轮(41)与所述限位杆(4)可转动连接。

7.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述安装部(71)的端部设有检测探头(5)，所述检测探头(5)与所述固定气缸(2)电连接，当所述本体(1)封闭所述开口时，所述检测探头(5)检测到本体(1)控制所述固定气缸(2)抵触在所述本体(1)上。

8.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述本体(1)和真空腔室(7)的连接处之间设有密封条。

9.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述本体(1)远离开口的一侧设有凸起部(13)。

10.根据权利要求1-9任一项所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述本体(1)上至少设有一个观察窗(12)，且本体(1)至少有一端上设有推拉杆(6)。