[发明专利]一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法

说明书

本发明涉及气密性检漏的装置及工艺技术领域，且公开了一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法，包括支撑架，所述压力系统、支架系统、密封系统、辅助机构系统和平板，所述支架系统包括顶板、立柱和底板，所述密封系统包括密封框和密封门，所述辅助机构系统包括手动施压装置和自动施压装置。该真空电子器件气密性检漏的装置及方法，提高了装置的应用范围，然后将工件放置在真空橡皮垫中心，采用可调节压力系统向工件施加压力的方式，辅助以真空橡皮垫，实现真空电子器件的密封，避免了真空电子器件被污染，保证工件放置稳固，辅助机构系统防止微小、薄壁及细长工件的受压变形。

技术领域

本发明涉及气密性检漏的装置及工艺技术领域，具体为一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法。

背景技术

真空电子器件是构成行波管的重要组成部件，而真空电子器件的气密性是影响行波管使用寿命和性能的主要因素，因此对于真空电子器件的气密性检漏是保障器件可靠性的必要工序。目前针对真空电子器件的气密性检漏普遍采用氦质谱真空检漏法，虽然这种方法检测灵敏度高，但需要保证行波管的零部件在检漏时实现密封。当前行业内采取的方法是在真空橡胶垫上涂抹一层真空油脂，通过检漏仪抽真空实现工件的密封，虽然这种方法行之有效，但接触油脂的零部件需要再次清洗去除油脂，而对于内部结构复杂的零部件，真空油脂较难清洗去除干净，造成行波管被污染，残留的真空油脂在行波管工作时会发生分解，影响真空电子器件的性能，使行波管存在安全隐患。

本申请介绍了一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法，可实现工件无污染密封检漏，并可防止微小、薄壁及细长工件的受压变形。通过可调节压力系统施加一定压力，作用于工件上，通过真空橡皮垫的形变实现工件的密封；通过辅助机构左右两侧的夹紧功能，保证工件受压时受力均衡，实现微小、薄壁及细长工件的防变形。本申请结构简单、操作方便，目前已广泛应用在真空电子器件无污染检漏上，为此我们提出一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法，提高了装置的应用范围，然后将工件放置在真空橡皮垫中心，采用可调节压力系统向工件施加压力的方式，辅助以真空橡皮垫，实现真空电子器件的密封，避免了真空电子器件被污染，保证工件放置稳固，辅助机构系统防止微小、薄壁及细长工件的受压变形等优点，解决了目前对于内部结构复杂的零部件，真空油脂较难清洗去除干净，造成行波管被污染，残留的真空油脂在行波管工作时会发生分解，影响真空电子器件的性能，使行波管存在安全隐患的问题。

为实现上述提高了装置的应用范围，然后将工件放置在真空橡皮垫中心，采用可调节压力系统向工件施加压力的方式，辅助以真空橡皮垫，实现真空电子器件的密封，避免了真空电子器件被污染，保证工件放置稳固，辅助机构系统防止微小、薄壁及细长工件的受压变形的目的，本发明提供如下技术方案：一种真空电子器件气密性检漏的装置，包括支撑架，所述压力系统、支架系统、密封系统、辅助机构系统和平板，所述支架系统包括顶板、立柱和底板，所述密封系统包括密封框和密封门，所述辅助机构系统包括手动施压装置和自动施压装置。

优选的，所述压力系统固定安装在顶板的顶端中部。

优选的，所述顶板可拆卸安装在立柱上，所述立柱可拆卸安装于顶板和底板之间。

优选的，所述密封框固定连接在顶板、底板和立柱的内侧。

优选的，所述底板设为工作平台，所述底板的底端设置有检漏仪，所述检漏仪的顶端安装有平板，且所述底板的中间设置凹槽用于放置真空橡胶垫。

优选的，所述辅助机构系统可拆卸安装于底板的顶端两侧，所述手动施压装置位于底板的顶端左侧，所述自动施压装置位于底板的顶端右侧。

优选的，一种真空电子器件气密性检漏的方法，包括以下步骤：