[发明专利]一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202011564531.5 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN112687604B 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 李凯;于泉鹏;姚绮君 申请(专利权)人: 厦门天马微电子有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/48;H01L25/075
代理公司: 北京允天律师事务所 11697 代理人: 王荣
地址: 361101 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 芯片 巨量 转移 装置 及其 制作方法
【说明书】:

发明提供了一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法,通过在基底和转印头之间设置弹性部件,基于弹性部件的弹性特征,在受到外力时可发生弹性形变,以调节每个转移头在第一方向上的空间位置,例如调节每个转移头在第一方向上的高度。也就是说,转移头所在平面通过弹性部件可以基于对接基板的放置位置,以及对接基板表面形貌的情况而灵活变形,进而极大程度的提高了LED芯片巨量转移的成功率。

技术领域

本发明涉及LED技术领域,更具体地说,涉及一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法。

背景技术

随着科学技术的不断发展,LED(Light Emitting Diode,发光二极管)作为新型的发光器件,与传统的发光器件相比,LED具有节能、环保、显色性与响应速度好等优点被广泛应用于人们的生活和工作中,为人们的日常生活带来了极大的便利。

基于LED芯片巨量转移的工艺而言,目前LED芯片巨量转移后,LED芯片与对接基板上电极焊盘之间连接的成功率较低。

发明内容

有鉴于此,为解决上述问题,本发明提供一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法,技术方案如下:

一种LED芯片的巨量转移装置,所述巨量转移装置包括:

基底;

设置在所述基底一侧的弹性部件;

设置在所述弹性部件背离所述基底一侧的多个转移头;

其中,在LED芯片与对接基板上电极焊盘的对接过程中,所述弹性部件用于发生弹性形变,以调节每个所述转移头在第一方向上的空间位置;

所述第一方向垂直于所述基底且由所述弹性部件指向所述基底。

一种LED芯片的巨量转移装置的制作方法,所述制作方法包括:

提供一模具基底,所述模具基底上具有预设图形;

在所述模具基底上形成所述预设图形的多个转移头;

在所述转移头背离所述模具基底的一侧形成弹性部件;

提供一基底;

将所述弹性部件固定在所述基底上,并去除所述模具基底;

其中,在LED芯片与对接基板上电极焊盘的对接过程中,所述弹性部件用于发生弹性形变,以调节每个所述转移头在第一方向上的空间位置;

所述第一方向垂直于所述基底且由所述弹性部件指向所述基底。

相较于现有技术,本发明实现的有益效果为:

本发明提供的巨量转移装置通过在基底和转印头之间设置弹性部件,基于弹性部件的弹性特征,在受到外力时可发生弹性形变,以调节每个转移头在第一方向上的空间位置,例如调节每个转移头在第一方向上的高度。也就是说,转移头所在平面通过弹性部件可以基于对接基板的放置位置,以及对接基板表面形貌的情况而灵活变形。那么,在LED芯片与电极焊盘的焊合过程中,即使存在一部分LED芯片与电极焊盘焊合完成,另一部分LED芯片与电极焊盘没有焊合完成的情况,也是可以持续加压将所有的LED芯片与电极焊盘焊合完成,预先焊合完成的LED芯片由于转移头可通过弹性部件调节在第一方向上的空间位置,在持续加压的过程中也并不会对这部分LED芯片造成损伤,进而极大程度的提高了LED芯片巨量转移的成功率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为现有技术中LED芯片巨量转移过程中的示意图;

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