[发明专利]一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法有效
| 申请号: | 202011564531.5 | 申请日: | 2020-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN112687604B | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
| 发明(设计)人: | 李凯;于泉鹏;姚绮君 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48;H01L25/075 |
| 代理公司: | 北京允天律师事务所 11697 | 代理人: | 王荣 |
| 地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 led 芯片 巨量 转移 装置 及其 制作方法 | ||
本发明提供了一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法,通过在基底和转印头之间设置弹性部件,基于弹性部件的弹性特征,在受到外力时可发生弹性形变,以调节每个转移头在第一方向上的空间位置,例如调节每个转移头在第一方向上的高度。也就是说,转移头所在平面通过弹性部件可以基于对接基板的放置位置,以及对接基板表面形貌的情况而灵活变形,进而极大程度的提高了LED芯片巨量转移的成功率。
技术领域
本发明涉及LED技术领域,更具体地说,涉及一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法。
背景技术
随着科学技术的不断发展,LED(Light Emitting Diode,发光二极管)作为新型的发光器件,与传统的发光器件相比,LED具有节能、环保、显色性与响应速度好等优点被广泛应用于人们的生活和工作中,为人们的日常生活带来了极大的便利。
基于LED芯片巨量转移的工艺而言,目前LED芯片巨量转移后,LED芯片与对接基板上电极焊盘之间连接的成功率较低。
发明内容
有鉴于此,为解决上述问题,本发明提供一种LED芯片的巨量转移装置及其制作方法,技术方案如下:
一种LED芯片的巨量转移装置,所述巨量转移装置包括:
基底;
设置在所述基底一侧的弹性部件;
设置在所述弹性部件背离所述基底一侧的多个转移头;
其中,在LED芯片与对接基板上电极焊盘的对接过程中,所述弹性部件用于发生弹性形变,以调节每个所述转移头在第一方向上的空间位置;
所述第一方向垂直于所述基底且由所述弹性部件指向所述基底。
一种LED芯片的巨量转移装置的制作方法,所述制作方法包括:
提供一模具基底,所述模具基底上具有预设图形;
在所述模具基底上形成所述预设图形的多个转移头;
在所述转移头背离所述模具基底的一侧形成弹性部件;
提供一基底;
将所述弹性部件固定在所述基底上,并去除所述模具基底;
其中,在LED芯片与对接基板上电极焊盘的对接过程中,所述弹性部件用于发生弹性形变,以调节每个所述转移头在第一方向上的空间位置;
所述第一方向垂直于所述基底且由所述弹性部件指向所述基底。
相较于现有技术,本发明实现的有益效果为:
本发明提供的巨量转移装置通过在基底和转印头之间设置弹性部件,基于弹性部件的弹性特征,在受到外力时可发生弹性形变,以调节每个转移头在第一方向上的空间位置,例如调节每个转移头在第一方向上的高度。也就是说,转移头所在平面通过弹性部件可以基于对接基板的放置位置,以及对接基板表面形貌的情况而灵活变形。那么,在LED芯片与电极焊盘的焊合过程中,即使存在一部分LED芯片与电极焊盘焊合完成,另一部分LED芯片与电极焊盘没有焊合完成的情况,也是可以持续加压将所有的LED芯片与电极焊盘焊合完成,预先焊合完成的LED芯片由于转移头可通过弹性部件调节在第一方向上的空间位置,在持续加压的过程中也并不会对这部分LED芯片造成损伤,进而极大程度的提高了LED芯片巨量转移的成功率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为现有技术中LED芯片巨量转移过程中的示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





