[发明专利]一种智能家电控制芯片的制备方法

权利要求书

1.一种智能家电控制芯片的制备方法，其特征在于，该制备方法具体包括以下步骤：

步骤一：通过晶圆切片机制得晶圆，在晶圆表面涂上光阻薄膜，通过光刻和湿蚀刻使得薄膜下的硅漏出，对芯片进行初步加工，将初步加工后的芯片放置到芯片刻蚀装置的芯片定位框（25）内，通过横移液压缸（4）控制其内部的横移活塞杆（2）向缸体外侧移动，横移活塞杆（2）通过连接块（3）带动横移板（5）移动，横移板5的底部两端分别设置有横移滑块，两个横移滑块分别设置在两个横移滑轨26上，横移滑块与横移滑轨26滑动连接，通过横移滑块与横移滑轨26的配合，实现对横移板5方向的限制，使得横移板5移动到支撑架7的一侧，实现芯片的上料工作；

步骤二：通过竖直液压缸（18）控制其内部的竖直活塞杆（20）向下移动，竖直活塞杆（20）带动竖直板（14）向下移动，使得蚀刻机头（23）贴近芯片，对芯片进行蚀刻工作，定位杆（31）的顶端穿过弧形槽（30）伸出到矩形板（29）的上方，定位杆（31）的顶部外表面开设有螺纹，定位杆（31）的顶端通过螺纹连接有固定螺母，旋松固定螺母，推动定位杆（31）在弧形槽（30）的内部移动，移动到指定位置后，旋紧固定螺母，固定定位杆（31）的位置，对冷却液管（24）的位置进行调节，在蚀刻的过程中对芯片浇注冷却液；

步骤三：通过第一电机（21）的输出端驱动第一丝杆（11）转动，两个第一滑轨（10）之间的第一移动板（13）的底部固定设置有第一螺母座，第一丝杆（11）穿过第一螺母座的内部且与第一螺母座通过螺纹连接，第一丝杆（11）转动时，通过第一螺母座驱动第一移动板（13）沿两个第一滑轨（10）移动，通过第二电机（34）的输出端驱动第二丝杆转动，第二滑块（16）贯穿第二固定盒（15），第二固定盒（15）的一侧侧壁设置在第二滑块（16）和第二移动板（17）之间，第二滑块（16）的一侧固定连接有第二螺母座，第二丝杆贯穿第二螺母座且与第二螺母座通过螺纹连接，第二丝杆转动时，通过第二螺母座驱动第二滑块（16）移动，实现第二滑块（16）的纵向调节工作，通过第一电机（21）和第二电机（34）的配合，在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱，并注入离子，形成PN结；然后通过化学和物理气相沉淀做出上层金属连接电路，完成芯片的制备工作。