[发明专利]半导体制程的系统和方法

权利要求书

1.一种半导体制程的系统，其特征在于，包括：

一处理水槽，经配置以包含一化学混合物，该化学混合物包括一第一化学物；

一化学感测器，经配置以感测该化学混合物的一或更多个性质；及

一电控阀，经配置以基于该化学混合物的该感测的一或更多个性质来调整该第一化学物在该化学混合物中的一量。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该化学混合物的该感测一或更多性质包括该第一化学物在该化学混合物中的一浓度。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，该第一化学物为水。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括通讯耦接至该化学感测器的控制电路系统，该控制电路系统经配置以基于该化学混合物的该感测的一或更多个性质来控制该电控阀。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，该控制电路系统通讯耦接至该电控阀且经配置以接收指示该电控阀的一状态的一状态信息信号，该控制电路系统进一步经配置以基于该状态信息信号来控制该电控阀。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，该控制电路系统经配置以自动控制该电控阀，以将该第一化学物在该化学混合物中的一浓度维持在一选定范围内，及该电控阀经配置以调整该第一化学物流进该化学混合物中的一量。

7.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，该控制电路系统经配置以自动控制该电控阀，以将该第一化学物在该化学混合物中的一浓度维持在一阈值浓度的1％偏差内。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括：

一第一入口阀，通讯耦接在一第一液体的一供应器与该处理水槽的一内部之间；

一第二入口阀，通讯耦接在一第二液体的一供应器与该处理水槽的一内部之间；

一循环回路，包括：

一出口阀，通讯耦接至该处理水槽的该内部；

一第三入口阀，通讯耦接至该处理水槽的该内部；及

一泵，通讯耦接在该出口阀与该第三入口阀之间，该泵经配置以将该化学混合物的一流量从该处理水槽的该内部穿过出口阀输送出去，并穿过该第三入口阀输送回至该处理水槽的该内部。

9.一种半导体制程的方法，其特征在于，包括：

通过一化学感测器，感测一化学混合物在一处理水槽中的一或更多个性质；及

通过控制电路系统，基于该化学混合物的该感测的一或更多个性质通过选择性地操作一电控阀，来控制一第一化学物在该化学混合物中的一量。

10.一种半导体制程的系统，其特征在于，包括：

多个处理水槽，经配置以包含一化学混合物；

一化学感测器，经配置以感测所述多个处理水槽中每一者中的该化学混合物的一或更多个性质；

多个第一入口阀，所述多个第一入口阀中的每一者耦接在一第一液体的一供应器与所述多个处理水槽的一各别处理水槽的一内部之间；及

控制电路系统，通讯耦接至该化学感测器及所述多个第一入口阀，该控制电路系统经配置以基于该化学混合物的该感测的一或更多个性质，通过选择性地操作所述多个第一入口阀来自动调整该第一液体在该化学混合物中的一量。