[发明专利]一种高稳定性单晶硅压差传感器

说明书

本发明涉及传感器领域，具体是一种高稳定性单晶硅压差传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体的内侧设有中隔板，中隔板上安装有单晶硅传感器芯片，单晶硅传感器芯片的左右侧空间分别为传感器正压腔和传感器负压腔，单晶硅传感器芯片的左右两侧还分别配合连接有第一过压保护膜和第二过压保护膜，第一测量腔的端口安装有第一隔离波纹片，第二测量腔的端口安装有第二隔离波纹片，传感器正压腔内还周向分布设有多个第一通油腔道，传感器负压腔内还周向分布设有多个第二通油腔道。本发明稳定性高，传感器的测量准确性和精度佳，能够适用于复杂的工况，值得推广。

技术领域

本发明涉及传感器领域，具体是一种高稳定性单晶硅压差传感器。

背景技术

压差传感器是工业领域中，测量气体或液体的压力差的常用工具，通常应用于工业过程中以测量各种工业过程流体中的压力，例如水泥、液体水汽和化学制品气体、纸浆、石油、气体、制药、食物和其它的流体式加工工厂。

压差传感器通常包括一堆过程流体压力输入端，其可操作地连接到相应两个输入端之间的传感器芯片中，压差传感器通常还包括一堆隔离膜片，定位在过程流体入口中并且隔离压差传感器与感测的流体，压力通过在每个隔离膜片延伸到压差传感器的通路中携载的大致不能压缩的填充流体从过程流体传送到压差传感器。

现有的压差传感器，稳定性差，传感器的测量准确性和精度不佳，无法适用于复杂的工况。因此，针对以上现状，迫切需要开发一种高稳定性单晶硅压差传感器，以克服当前实际应用中的不足。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种高稳定性单晶硅压差传感器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

一种高稳定性单晶硅压差传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体的内侧中部设有中隔板，中隔板的中部安装有单晶硅传感器芯片，单晶硅传感器芯片的左右侧空间分别为传感器正压腔和传感器负压腔，所述单晶硅传感器芯片的左右两侧还分别配合连接有第一过压保护膜和第二过压保护膜，所述传感器正压腔远离第一过压保护膜的一侧设有第一测量腔，第一测量腔的端口第一隔离波纹片安装口处安装有第一隔离波纹片，所述传感器负压腔远离第二过压保护膜的一侧设有第二测量腔，第二测量腔的端口第二隔离波纹片安装口处安装有第二隔离波纹片，所述传感器正压腔内还周向分布设有多个第一通油腔道，第一通油腔道的两端分别与第一过压保护膜和第一测量腔连接，传感器负压腔内还周向分布设有多个第二通油腔道，第二通油腔道的两端分别与第二过压保护膜和第二测量腔连接，相邻的两个第一通油腔道之间以及相邻的两个第二通油腔道之间分别通过支通油腔道连接，且所述第一通油腔道、第二通油腔道和支通油腔道内填充有硅油。

作为本发明进一步的方案：所述第一测量腔的腔壁上设有多个用于对第一隔离波纹片进行支撑固定的第一加固凸块，第二测量腔的腔壁上设有多个用于对第二隔离波纹片进行支撑固定的第二加固凸块。

作为本发明进一步的方案：所述第一通油腔道和第二通油腔道均周向均匀分布设有三个，多个第一通油腔道和第二通油腔道均水平设置，且相邻两个第一通油腔道之间的夹角以及相邻两个第二通油腔道之间的夹角均为60°，中间的一个第一通油腔道和第二通油腔道共轴线设置，且中间的一个第一通油腔道垂直连接于第一过压保护膜的中心位置，中间的一个第二通油腔道垂直连接于第二过压保护膜的中心位置。

作为本发明进一步的方案：所述支通油腔道为圆弧形结构，相邻两个第一通油腔道之间的支通油腔道两端分别对应连接于两个第一通油腔道的中间位置，相邻两个第二通油腔道之间的支通油腔道两端分别对应连接于两个第二通油腔道的中间位置。

作为本发明进一步的方案：中间的一个第一通油腔道的上侧中部还连接有第一充油管道，第一充油管道从传感器壳体的顶部伸出，且第一充油管道和传感器壳体的顶部密封固定连接，第一充油管道的上端还可拆卸安装有第一密封盖。