[发明专利]一种高效型晶片吸附设备在审
| 申请号: | 202011551971.7 | 申请日: | 2020-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN112670227A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
| 发明(设计)人: | 刘艳伟 | 申请(专利权)人: | 南京速淘技术研发有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 210046 江苏省南京市栖*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高效 晶片 吸附 设备 | ||
本发明涉及一种高效型晶片吸附设备,包括移动杆,所述移动杆竖向设置,所述移动杆上设有两个真空装置,所述移动杆上设有吸附机构和辅助机构,所述吸附机构和辅助机构均设置在移动杆的下方,所述吸附机构包括固定管、转动轴、动力组件、两个密封块、两个轴承和两个吸附组件,所述吸附组件包括连接管和吸嘴,所述动力组件包括驱动电机、驱动齿轮和从动齿轮,所述辅助机构包括气管、单向阀、密封杆、连接杆、支撑杆和两个传动组件,该高效型晶片吸附设备通过吸附机构实现了吸附两个晶片的功能,提高了工作效率,不仅如此,还通过辅助机构实现了清除吸嘴上杂质的功能。
技术领域
本发明涉及芯片制作领域,特别涉及一种高效型晶片吸附设备。
背景技术
芯片是半导体元件产品的统称,又称微电路、微芯片、集成电路,而芯片在封装过程中,则需要通过吸附装置使吸嘴吸附晶片并移动至基板上进行贴装。
现有的吸附装置在吸取晶片时,只能单次吸取一颗晶片,工作效率较低,降低了实用性,不仅如此,现有的吸附装置均是通过吸嘴进行吸附晶片,而吸嘴上产生杂质后,会影响吸嘴吸附晶片效果,易使晶片从吸嘴上脱落,降低吸附的稳定性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种高效型晶片吸附设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高效型晶片吸附设备,包括移动杆,所述移动杆竖向设置,所述移动杆上设有两个真空装置,所述移动杆上设有吸附机构和辅助机构,所述吸附机构和辅助机构均设置在移动杆的下方;
所述吸附机构包括固定管、转动轴、动力组件、两个密封块、两个轴承和两个吸附组件,所述固定管的轴线与移动管的轴线垂直且相交,所述固定管的中端位于移动杆的轴线上,所述固定管与移动杆固定连接,两个密封块分别与固定管的两端密封且固定连接,所述转动轴的轴线与连接杆的轴线垂直且相交,所述转动轴与固定管平行且位于固定管的下方,两个轴承的内圈分别安装在转动轴的两端,所述轴承的外圈与固定管固定连接,所述动力组件设置在转动轴上且与转动轴传动连接,两个吸附组件以转动轴的轴线为中心周向均匀分布,其中一个吸附组件设置在转动轴和固定管之间;
所述吸附组件包括连接管和吸嘴,所述连接管与移动杆同轴设置,所述连接杆的一端固定在转动轴上,所述吸嘴安装在连接管的另一端,两个真空装置均位于连接管内;
所述动力组件包括驱动电机、驱动齿轮和从动齿轮,所述从动齿轮安装在转动轴上,所述驱动电机位于固定管和转动轴之间且与固定管固定连接,所述驱动电机与驱动齿轮传动连接,所述驱动齿轮与从动齿轮啮合,所述转动管上设有两个气孔,所述气孔与密封块一一对应且设置在固定管的底部,所述驱动电机与其中一个气孔正对设置;
所述辅助机构包括气管、单向阀、密封杆、连接杆、支撑杆和两个传动组件,所述固定管的顶部设有安装孔,所述固定管的底部设有圆孔,所述安装孔、圆孔、密封杆、连接杆和气管均与连接杆同轴设置,所述气管穿过安装孔且与连接杆之间设有间隙,所述气管与安装孔的内壁密封且固定连接,所述单向阀安装在气管内,所述密封杆的直径与圆孔的内径相等且大于连接杆的直径,所述密封杆设置在固定管内且与固定管的内壁之间设有间隙,所述连杆的顶端穿过圆孔且固定在密封杆的底端,所述支撑杆与固定管平行且位于靠近固定管的吸嘴和连接杆之间,所述支撑杆的中端固定在连接杆的底端,所述传动组件与密封块一一对应,所述气管和密封杆均位于两个传动组件之间;
所述传动组件包括传动单元和两个连接单元,所述连接单元以转动轴的轴线为中心周向均匀分布;
所述连接单元包括固定杆和第一磁铁块,所述固定杆的轴线与转动轴的轴线垂直且相交,所述固定杆与连接管平行,所述固定杆的一端固定在转动轴上,所述第一磁铁块固定在固定杆的另一端,靠近移动杆的第一磁铁块位于固定杆和转动轴之间,所述第一磁铁块的远离转动轴的一侧与转动轴之间的距离小于吸嘴的远离转动轴的一侧与转动轴轴线之间的距离;
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