[发明专利]一种高效型晶片吸附设备在审
| 申请号: | 202011551971.7 | 申请日: | 2020-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN112670227A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
| 发明(设计)人: | 刘艳伟 | 申请(专利权)人: | 南京速淘技术研发有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 210046 江苏省南京市栖*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高效 晶片 吸附 设备 | ||
1.一种高效型晶片吸附设备,包括移动杆(1),所述移动杆(1)竖向设置,所述移动杆(1)上设有两个真空装置,其特征在于,所述移动杆(1)上设有吸附机构和辅助机构,所述吸附机构和辅助机构均设置在移动杆(1)的下方;
所述吸附机构包括固定管(2)、转动轴(3)、动力组件、两个密封块(4)、两个轴承(5)和两个吸附组件,所述固定管(2)的轴线与移动管的轴线垂直且相交,所述固定管(2)的中端位于移动杆(1)的轴线上,所述固定管(2)与移动杆(1)固定连接,两个密封块(4)分别与固定管(2)的两端密封且固定连接,所述转动轴(3)的轴线与连接杆(14)的轴线垂直且相交,所述转动轴(3)与固定管(2)平行且位于固定管(2)的下方,两个轴承(5)的内圈分别安装在转动轴(3)的两端,所述轴承(5)的外圈与固定管(2)固定连接,所述动力组件设置在转动轴(3)上且与转动轴(3)传动连接,两个吸附组件以转动轴(3)的轴线为中心周向均匀分布,其中一个吸附组件设置在转动轴(3)和固定管(2)之间;
所述吸附组件包括连接管(6)和吸嘴(7),所述连接管(6)与移动杆(1)同轴设置,所述连接杆(14)的一端固定在转动轴(3)上,所述吸嘴(7)安装在连接管(6)的另一端,两个真空装置均位于连接管(6)内;
所述动力组件包括驱动电机(8)、驱动齿轮(9)和从动齿轮(9),所述从动齿轮(9)安装在转动轴(3)上,所述驱动电机(8)位于固定管(2)和转动轴(3)之间且与固定管(2)固定连接,所述驱动电机(8)与驱动齿轮(9)传动连接,所述驱动齿轮(9)与从动齿轮(9)啮合,所述转动管上设有两个气孔,所述气孔与密封块(4)一一对应且设置在固定管(2)的底部,所述驱动电机(8)与其中一个气孔正对设置;
所述辅助机构包括气管(11)、单向阀(12)、密封杆(13)、连接杆(14)、支撑杆(15)和两个传动组件,所述固定管(2)的顶部设有安装孔,所述固定管(2)的底部设有圆孔,所述安装孔、圆孔、密封杆(13)、连接杆(14)和气管(11)均与连接杆(14)同轴设置,所述气管(11)穿过安装孔且与连接杆(14)之间设有间隙,所述气管(11)与安装孔的内壁密封且固定连接,所述单向阀(12)安装在气管(11)内,所述密封杆(13)的直径与圆孔的内径相等且大于连接杆(14)的直径,所述密封杆(13)设置在固定管(2)内且与固定管(2)的内壁之间设有间隙,所述连杆(18)的顶端穿过圆孔且固定在密封杆(13)的底端,所述支撑杆(15)与固定管(2)平行且位于靠近固定管(2)的吸嘴(7)和连接杆(14)之间,所述支撑杆(15)的中端固定在连接杆(14)的底端,所述传动组件与密封块(4)一一对应,所述气管(11)和密封杆(13)均位于两个传动组件之间;
所述传动组件包括传动单元和两个连接单元,所述连接单元以转动轴(3)的轴线为中心周向均匀分布;
所述连接单元包括固定杆(16)和第一磁铁块(17),所述固定杆(16)的轴线与转动轴(3)的轴线垂直且相交,所述固定杆(16)与连接管(6)平行,所述固定杆(16)的一端固定在转动轴(3)上,所述第一磁铁块(17)固定在固定杆(16)的另一端,靠近移动杆(1)的第一磁铁块(17)位于固定杆(16)和转动轴(3)之间,所述第一磁铁块(17)的远离转动轴(3)的一侧与转动轴(3)之间的距离小于吸嘴(7)的远离转动轴(3)的一侧与转动轴(3)轴线之间的距离;
所述传动单元包括连杆(18)、移动盘(19)、推杆(20)、弹簧(21)、第二磁铁块(22)和导孔,两个第二磁铁块(22)分别固定在支撑杆(15)的两端且位于靠近移动杆(1)的第一磁铁块(17)和固定杆(16)之间,所述第二磁铁块(22)与第一磁铁块(17)正对设置,所述第二磁铁块(22)与第一磁铁块(17)的远离转动轴(3)的一侧磁极相同,所述导孔设置在固定管(2)的底部,所述推杆(20)与移动杆(1)平行,所述推杆(20)的轴线与固定管(2)的轴线相交,所述推杆(20)穿过导孔,所述推杆(20)与导孔的内壁滑动且密封连接,所述推杆(20)的底端固定在第二磁铁块(22)上,所述弹簧(21)位于固定管(2)和第二磁铁块(22)之间,所述第二磁铁块(22)通过弹簧(21)与固定管(2)连接,所述弹簧(21)处于压缩状态,所述移动盘(19)设置在固定管(2)内且位于推杆(20)的靠近连接杆(14)轴线的一侧,所述移动盘(19)的另一侧通过连杆(18)与推杆(20)的顶端铰接,所述连杆(18)的靠近移动盘(19)的一端与转动轴(3)之间的距离大于连杆(18)的另一端与转动轴(3)之间的距离。
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