[发明专利]一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法及装置

说明书

本发明涉及一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，包括：选取被测物的测试点，其中，所述被测物安装在低轴漂的柔性轴承，所述低轴漂的柔性轴承被驱动机构驱动后，位于低轴漂的柔性轴承上的被测物做小行程大半径的弧形运动；测量所述测试点的切向位移；测量所述测试点的转角；根据所述测试点的切向位移和转角检测柔性轴承的运动是否满足精度要求。本发明将两个柔性铰链组反向布置为并联的结构，降低了轴漂，采用电容位移传感器和自准直仪测量切向位移及转角，根据测试点的转角和切向位移检测柔性轴承的运动是否满足精度要求，提高了小行程大半径的弧形运动的检测精度。本发明还提供一种低轴漂的柔性轴承的精度检测装置。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法及装置。

背景技术

相衬成像技术具有高衬度和低剂量特点，对于吸收衬度难以分辨的软组织具有明显优势。相对于其他相衬成像方法，光栅相衬成像方法可以和常规X射线光源有效结合，并且能够同时解析物体的吸收、相位和散射三种衬度信息，实现多模式成像。受限于大高宽比光栅制造技术，现有相衬成像系统存在工作能量低，成像视场小等问题，距离临床应用仍面临相当大的挑战。

为了将X射线相衬成像技术推广到临床应用阶段，国家同步辐射实验室提出新一代高衬度、大视场、低剂量相衬CT成像系统。该相衬成像方法基于几何投影方法，能够兼容常规大焦点的X光源。成像系统采用曲面光栅，保证X射线满足正入射条件。由于光栅周期不再受限于入射X射线的空间相干长度，满足了临床医学影像的大视场高能射线成像需求。

根据成像系统要求，相位光栅在成像过程中需要实现几十微米的弧形位移。光栅步进机构采用柔性铰链机构实现相位光栅沿半径为几百毫米的圆弧上运动。柔性铰链是在外部力或者力矩作用下，利用材料的弹性变形在相邻刚性杆之间产生相对运动的一种运动副结构形式。具有免装配、无间隙和摩擦、免润滑、高刚度和高分辨率等特点，可用于微进给、精密调整、微操作等精密定位领域。光栅相位步进机构通过铰链沿圆周方向的合理布置，可以实现任意旋转半径的旋转，且可以减少轴承的尺寸；可以通过直线驱动实现旋转运动；与传统的单纯串联方式相比，在提高系统刚度的同时可以实现温度补偿和提高尺寸稳定性。

对柔性铰链的精度检测通常采用的方法是：利用工具显微镜测量铰链运动刚体上的两个特征点在转动过程中的坐标值，从而解算出柔性铰链在不同转角时转动中心点的位置。由此得到了转动中心漂移的大小及轴漂的方向。但这种利用工具显微镜测量坐标值对于小圆弧大半径的圆周运动测量误差较大，通常适合大行程柔性铰链的转动精度进行实验测量。

因此，有必要提出一种新的测量装置及测量方法解决上述问题。

发明内容

针对现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法及装置。

本发明的技术方案概述如下：

本发明提供一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，包括：

选取被测物的测试点，其中，所述被测物安装在低轴漂的柔性轴承，所述低轴漂的柔性轴承被驱动机构驱动后，位于低轴漂的柔性轴承上的被测物做小行程大半径的弧形运动；测量所述测试点的切向位移；

测量所述测试点的转角；

根据所述测试点的切向位移和转角检测柔性轴承的运动是否满足精度要求。

进一步地，所述低轴漂的柔性轴承设有反向布置的第一柔性铰链组及第二柔性铰链组，所述第一柔性铰链组与第二柔性铰链组并联后形成步进部，所述步进部上安装被测物。

进一步地，所述切向位移为所述测试点在多个采集位之间在切向上的位移；所述转角为所述测试点在多个采集位之间的转动角度。

进一步地，根据所述测试点的转角和切向位移检测柔性轴承的运动是否满足精度要求，包括：