[发明专利]一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法及装置

权利要求书

1.一种低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，其特征在于,包括：

选取被测物的测试点，其中，所述被测物安装在低轴漂的柔性轴承，所述低轴漂的柔性轴承被驱动机构驱动后，位于低轴漂的柔性轴承上的被测物做小行程大半径的弧形运动；

测量所述测试点的切向位移；

测量所述测试点的转角；

根据所述测试点的切向位移和转角检测柔性轴承的运动是否满足精度要求，包括：根据测试点的切向位移和转角，拟合被测物进行弧形运动时的旋转半径，为拟合半径；判断所述拟合半径与理论半径之间的误差值是否满足不大于阈值；当所述拟合半径与理论半径之间的误差值不大于阈值时，说明柔性轴承的弧形运动轨迹满足精度要求。

2.如权利要求1所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，其特征在于，所述低轴漂的柔性轴承设有反向布置的第一柔性铰链组及第二柔性铰链组，所述第一柔性铰链组与第二柔性铰链组并联后形成步进部，所述步进部上安装被测物。

3.如权利要求1所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，其特征在于，所述切向位移为所述测试点在多个采集位之间在切向上的位移；所述转角为所述测试点在多个采集位之间的转动角度。

4.一种低轴漂的柔性轴承的精度测量装置，其特征在于，用于如权利要求1-3任一项所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量方法，包括：

电容位移传感器，用于测量测试点的切向位移；其中，所述测试点位于被测物上，所述被测物安装在低轴漂的柔性轴承；

自准直仪，用于测量所述测试点的转角；

驱动机构，所述驱动机构驱动低轴漂的柔性轴承，所述低轴漂的柔性轴承被驱动机构驱动后，位于低轴漂的柔性轴承上的被测物做小行程大半径的弧形运动做小行程大半径的弧形步进；

根据所述测试点的切向位移和转角检测柔性轴承的运动是否满足精度要求；

所述低轴漂的柔性轴承设有反向布置的第一柔性铰链组及第二柔性铰链组，所述第一柔性铰链组与第二柔性铰链组并联后形成步进部，所述步进部上安装被测物，所述第一柔性铰链组及第二柔性铰链组包括至少两个并联的柔性铰链；每个所述柔性铰链包括左簧片、右簧片、上刚性部、下刚性部，所述第一柔性铰链组或所述第二柔性铰链组中的一所述柔性铰链的右簧片为与之并联的所述柔性铰链的左簧片。

5.如权利要求4所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量装置，其特征在于，所述第一柔性铰链组中的一所述柔性铰链的下刚性部和与之并联的所述第二柔性铰链组中的所述柔性铰链的上刚性部共用，共用的刚性部为柔性铰链中活动的刚性部，共用的刚性部形成步进部。

6.如权利要求4所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量装置，其特征在于，所述第一柔性铰链组中的所述柔性铰链的上刚性部固定，同时与之并联的所述第二柔性铰链组中的所述柔性铰链的下刚性部固定。

7.如权利要求4所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量装置，其特征在于，所述第一柔性铰链组包括第一柔性铰链和第二柔性铰链，所述第一柔性铰链和第二柔性铰链并联；

所述第二柔性铰链组包括第三柔性铰链和第四柔性铰链，所述第三柔性铰链和第四柔性铰链并联；

所述第一柔性铰链与所述第三柔性铰链并联，所述第二柔性铰链与所述第四柔性铰链并联。

8.如权利要求4所述的低轴漂的柔性轴承的精度测量装置，其特征在于，所述左簧片与所述右簧片的延长线交于虚拟远程运动中心o；所述第一柔性铰链组中的柔性铰链在运动时的轴心的漂移方向，与第二柔性铰链组柔性铰链在运动时的轴心的漂移方向相反。