[发明专利]制造钟表组件的方法和由该方法获得的组件在审
| 申请号: | 202011500852.9 | 申请日: | 2020-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN113009780A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
| 发明(设计)人: | P·库辛;A·甘德尔曼;M·穆希;C·戈尔菲耶尔 | 申请(专利权)人: | 尼瓦罗克斯-法尔股份公司 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/40;G04B15/14;C25D5/10;C25D5/02;C25D1/00;C23C2/26;C23C2/02;B81C99/00 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 石克虎;杨戬 |
| 地址: | 瑞士勒*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制造 钟表 组件 方法 获得 | ||
本发明涉及制造钟表组件的方法和由该方法获得的组件。本发明涉及制造金属钟表组件的方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:经由UV‑LIGA型方法结合热冲压,形成多层次光敏树脂模具,并从至少两个导电层开始电镀至少一种金属的层以形成块体,其基本到达该光敏树脂的上表面。
技术领域
本发明涉及借助LIGA技术制造复杂的多层次金属结构的方法。本发明还涉及通过该方法获得的此类金属结构,特别是钟表(timepiece)组件。
背景技术
符合上述定义的方法是已知的。特别地,A.B. Frazier等人所著的题为“MetallicMicrostructures Fabricated Using Photosensitive Polyimide ElectroplatingMolds”并发表在Journal of Microelectromechanical systems(第2卷, 第2期, 1993年6月)中的文章描述了在通过光敏树脂层的光刻法制成的聚酰亚胺模具中通过电镀制造多层次金属结构的方法。这种方法包括以下步骤:
- 生成用于后续电镀步骤的牺牲金属层和粘合层;
- 铺设光敏聚酰亚胺层,
- 通过与要形成的结构的一个层次的轮廓对应的掩模用紫外线辐射照射聚酰亚胺层,
- 通过溶解未照射部分而将聚酰亚胺层显影以获得聚酰亚胺模具,
- 通过电镀用镍填充模具直至其顶部,并获得基本平坦的上表面,
- 通过真空汽化在整个上表面上沉积薄铬层,
- 在铬层上沉积新的光敏树脂层,
- 通过与要获得的结构的下一层次的轮廓对应的新掩模照射该树脂层,
- 将聚酰亚胺层显影以获得新模具,
- 通过电镀生长用镍填充新模具直至其顶部,
- 将多层次结构和聚酰亚胺模具与牺牲层和基底分离,
- 将多层次结构与聚酰亚胺模具分离。
清楚的是,上述方法原则上可重复实施以获得具有多于两个层次(level)的金属结构。
专利号WO2010/020515A1公开了在模具中电镀部件的金属的步骤之前制造与要获得的最终部件对应的完整光刻胶模具来制造具有多个层次的部件。通过这种方法只能制造其中各层次的投影包含在彼此中的多层次部件。
从专利号EP2405301A中也获知,包含至少两个层次的光刻胶模具,在该基底中形成的层次仅包括光滑的垂直侧壁。
这些方法只能制造基本几何形状为圆柱形的部件,而不能制造包含复杂几何形状,如斜边(bevel)或倒角(chamfer)的部件。
发明内容
本发明的目标是通过提供能够制造多层次金属钟表组件的方法来克服前述缺点及其它缺点,所述方法将热冲压步骤与LIGA技术结合,在所述LIGA技术中,对于每个层次,导电层与树脂层相关联以便能够在多层次组件的情况下进行可靠的电镀。
本发明的目标还在于能够制造具有使用LIGA技术通常不可行的复杂几何形状的钟表部件。
为此,本发明涉及制造钟表组件的方法,包括以下步骤:
a)提供基底,在其上沉积第一导电层并施加第一光敏树脂层;
b)使用压模热冲压第一树脂层,将压模下压至基底以成型所述树脂层并限定该钟表组件的第一层;
c)通过限定该组件的第一层次的掩模照射第一成型树脂层,并溶解光敏树脂层的未照射区域以便在一些位置露出该第一导电层;
e)施加覆盖由步骤c)获得的结构的第二光敏树脂层,随后通过限定该组件的第二层次的掩模照射该第二树脂层,并溶解第二光敏树脂层的未照射区域以形成包含第一和第二层次的模具;
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