[发明专利]旋转角度检测传感器、扭矩检测传感器以及动力传递装置

说明书

提供旋转角度检测传感器、扭矩检测传感器以及动力传递装置，旋转角度检测传感器包含具有导体层的基板。导体层包含：多个第1电阻线图案，它们在周向上等间隔地配置；以及多个第2电阻线图案，它们与第1电阻线图案呈同心圆状，并且在周向上未配置有第1电阻线图案的区域等间隔地配置。第1电阻线图案是由在半径方向和周向中的任意一个方向上延伸的第1电阻线串联连接而成的图案。第2电阻线图案是由在半径方向和周向中的任意一个方向上延伸的第2电阻线串联连接而成的图案。基于这些第1电阻线图案和第2电阻线图案的电阻值的变化，能够检测输入到圆形体的旋转运动的旋转角度。

技术领域

本发明涉及旋转角度检测传感器、扭矩检测传感器以及动力传递装置。

背景技术

近年来，搭载在机器人的关节等上的减速机的需求急速上升。关于以往的减速机，例如记载在日本特开2004-198400号公报中。在该公报中，在以减速后的转速旋转的挠性外齿齿轮上粘贴有应变仪。由此，能够进行施加于挠性外齿齿轮的扭矩的检测。

专利文献1：日本特开2004-198400号公报

但是，在这种减速机中使用的挠性外齿齿轮反复进行周期性的挠曲变形。因此，应变仪的输出值包含由本来要测量的扭矩引起的成分和由挠性外齿齿轮的周期性变形引起的误差成分。该误差成分根据输入到挠性外齿齿轮的旋转运动的旋转角度而变化。因此，为了高精度地测量扭矩，需要从应变仪的输出值中消除与旋转角度对应的误差成分。

但是，在以往的构造中，应变仪自身无法检测输入到挠性外齿齿轮的旋转运动的旋转角度。因此，为了计算上述误差成分，需要从与减速机连接的马达取得旋转角度的信息。

发明内容

本发明的目的在于提供旋转角度检测传感器，其能够检测输入到挠性外齿齿轮等圆形体的旋转运动的旋转角度。

本申请发明是一种旋转角度检测传感器，其检测输入到圆形体的旋转运动的旋转角度，其中，该旋转角度检测传感器包含具有导体层的基板，所述导体层包含：多个第1电阻线图案，它们在周向上等间隔地配置；以及多个第2电阻线图案，它们与所述第1电阻线图案呈同心圆状，并且在周向上未配置有所述第1电阻线图案的区域等间隔地配置，所述第1电阻线图案是由在半径方向和周向中的任意一个方向上延伸的第1电阻线串联连接而成的图案，所述第2电阻线图案是由在所述一个方向上延伸的第2电阻线串联连接而成的图案。

根据本发明，基于多个第1电阻线图案和多个第2电阻线图案的电阻值的变化，能够检测输入到圆形体的旋转运动的旋转角度。

附图说明

图1是动力传递装置的纵剖视图。

图2是动力传递装置的横剖视图。

图3是示出扭矩检测传感器的背面的图。

图4是示出扭矩检测传感器的表面的图。

图5是隔膜部和扭矩检测传感器的局部剖视图。

图6是第1惠斯登电桥电路的电路图。

图7是第2惠斯登电桥电路的电路图。

图8是示出第1电压计的测量值和第2电压计的测量值的曲线图。

图9是第3惠斯登电桥电路的电路图。

图10是概念性地示出校正处理的图。

图11是示出变形例的扭矩检测传感器的背面的图。

标号说明