[发明专利]校准机构及检测系统

说明书

本申请公开了一种校准机构及检测系统。校准机构包括本体、第一延伸部及第二延伸部。第一延伸部设置在本体的第一端，第一延伸部包括第一夹持件，第一夹持件用于与承载件的避让空间匹配。第二延伸部设置在与本体的第一端相背的第二端，第二延伸部的第一端相较于第二延伸部的第二端更靠近本体，第二延伸部开设有贯穿第二延伸部的第二端并向第二延伸部的第一端延伸的收容腔，在垂直于收容腔的延伸方向的平面上，收容腔的投影位于第一夹持件的投影内。本申请通过校准机构的第二延伸部上收容腔，来判断承载件上避让空间的位置信息，相较于将整个设备拆开后直接量取承载件的避让空间，能够更方便、快速且准确的获取承载件的位置信息。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种校准机构及检测系统。

背景技术

通常晶圆检测设备中，一般将晶圆的承载装置设置在封闭的腔室内，以便于对承载在其上的晶圆进行检测。然而由于承载装置设置在腔室内，需要将整个检测设备拆开才能确定承载装置的位置信息时，如此比较费时费力。

发明内容

本申请实施方式提供一种校准机构及检测系统。

本申请实施方式的校准机构包括本体、第一延伸部及第二延伸部。所述第一延伸部设置在所述本体的第一端，所述第一延伸部包括第一夹持件，所述第一夹持件用于与承载件的避让空间匹配。所述第二延伸部设置在所述本体的第二端，所述本体的第一端与所述本体的第二端位于所述本体的相背两端，所述第二延伸部包括相背的第一端及第二端，所述第二延伸部的第一端相较于所述第二延伸部的第二端更靠近所述本体，所述第二延伸部开设有贯穿所述第二延伸部的第二端并向所述第二延伸部的第一端延伸的收容腔，在垂直于所述收容腔的延伸方向的平面上，所述收容腔的投影位于所述第一夹持件的投影内。

在某些实施方式中，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的深度小于或等于第一夹持件的厚度。

在某些实施方式中，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的宽度小于或等于第一夹持件的宽度。

在某些实施方式中，所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相同，或者所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相交。

在某些实施方式中，所述第一夹持件收容在所述避让空间内，所述第一夹持件抵持所述避让空间靠近所述承载件中心的一端的内侧壁。

在某些实施方式中，所述第一延伸部还包括与所述第一夹持件间隔相对的第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件之间的距离大于或等于所述承载件的所述避让空间处的深度。

在某些实施方式中，相背的第一侧壁及第二侧壁，所述第二延伸部的第一侧壁及所述第二延伸部的第二侧壁均连接所述第二延伸部的第一端及第二端，所述第二侧壁相较于所述第一侧壁更靠近所述第二夹持件，所述收容腔贯穿所述第一侧壁。

在某些实施方式中，所述收容腔远离所述第一侧壁的内侧壁，与所述第一夹持件靠近所述第二夹持件的一端的端面在同一平面。

在某些实施方式中，所述第一延伸部的数量为多个，所述避让空间的数量为多个，多个所述第一延伸部与多个所述避让空间对应，相邻的两个所述第一延伸部之间的距离等于对应的两个所述避让空间之间的距离。

在某些实施方式中，所述第二延伸部的数量为多个，多个所述第二延伸部与多个所述第一延伸部对应，相邻的两个所述第二延伸部上的收容腔之间的距离等于对应的两个所述第一延伸部之间的距离。

在某些实施方式中，所述本体呈“工”字形，并包括连接部、所述本体的第一端及所述本体的第二端，所述连接部连接所述本体的第一端与所述本体的第二端，多个所述第一延伸部间隔设置在所述本体的第一端，多个所述第二延伸部间隔设置在所述本体的第二端。

在某些实施方式中，所述本体设置有通孔。