[发明专利]一种高温自润滑轴承及其制备方法

权利要求书

1.一种高温自润滑轴承，其特征在于，轴承基体材料为轴承钢或陶瓷，基体表面具有AlZnMoN+ZrAgVB交替分布的纳米叠层涂层。

2.根据权利要求1所述的一种高温自润滑轴承，其特征在于，所述叠层涂层至少含有10层AlZnMoN层和10层ZrAgVB层，且AlZnMoN与ZrAgVB单个层的厚度小于等于200nm。

3.根据权利要求1所述的一种高温自润滑轴承，其特征在于，所述AlZnMoN涂层中Al元素原子百分比为30-40％，Zn元素原子百分比为10-20％，Mo元素原子百分比为10-15％，N元素原子百分比为30-40％，所述Al、Zn、Mo、N元素原子百分比之和为100％。

4.根据权利要求1所述的一种高温自润滑轴承，其特征在于，所述ZrAgVB涂层中Zr元素原子百分比为30-40％，Ag元素原子百分比为10-20％，V元素原子百分比为10-20％，B元素原子百分比为30-40％，所述Zr、Ag、V、B元素原子百分比之和为100％。

5.根据权利要求1-4任意一项所述高温自润滑轴承的制备方法，其特征在于，其具体制备方法如下：

(1)将轴承基体依次放入酒精和丙酮中超声清洗各30-40min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为7.0×10^-3-9.0×10-3Pa，加热至200-220℃，保温时间30-40min；

(2)通入Ar气，其压力为0.5-2.5Pa，开启偏压电源，电压为900-1000V，占空比为0.2-0.4，辉光放电清洗20-30min；偏压降低至400-600V，开启离子源离子清洗20-30min，开启电弧源Zr靶，偏压为500-600V，靶电流为50-60A，离子轰击Zr靶0.5-2.0min。

(3)关闭Zr靶，调整工作气压为1.0-1.5Pa，偏压为250-300V，开启Al靶，调整Al靶电流为100-120A，开启ZnMoN复合靶，靶电流调至90-100A，沉积AlZnMoN涂层1-10min；

(4)关闭Al靶和ZnMoN靶，调整工作气压为1.5-2.0Pa，偏压为300-320V，开启Zr靶、Ag靶和VB靶电弧电源，Zr靶电流为100-120A，Ag靶电流为80-90A，VB靶电流为110-130A，沉积ZrAgVB涂层1-10min；

(5)重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积AlZnMoN+ZrAgVB叠层涂层，使涂层总厚度为1-50μm；

(6)关闭所有靶材、偏压电源及气体源，保温30-60min，涂层结束。