[发明专利]一种晶圆承载装置及其控制方法、装置

权利要求书

1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：

承片台(1)；

转台，所述承片台(1)固定在所述转台上；通过所述转台的转动，所述转台带动所述承片台(1)旋转；

支撑台(2)，与所述转台连接；所述转台能够相对于所述支撑台(2)转动；

辅基座(3)，与所述支撑台(2)连接；

主基座(4)，所述主基座(4)与所述辅基座(3)间隔设置；

其中，在所述主基座(4)与所述辅基座(3)相对的第一位置，所述主基座(4)与所述辅基座(3)固定连接；

在所述主基座(4)与所述辅基座(3)相对的第二位置，设置有调整结构(5)；

其中，与所述调整结构(5)相连接设置有驱动结构(6)，通过所述驱动结构(6)带动所述调整结构(5)转动，所述主基座(4)与所述辅基座(3)在所述第二位置之间的间隔距离变化。

2.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，还包括：

在所述主基座(4)与所述辅基座(3)相对的第一位置，所述主基座(4)与所述辅基座(3)通过锁紧结构(7)固定连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，在所述主基座(4)与所述辅基座(3)相对的至少两个第二位置，分别设置有所述调整结构(5)。

4.根据权利要求3所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一位置和至少两个所述第二位置围绕所述转台均匀分布。

5.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述调整结构(5)包括：

设置于主基座(4)上的第一调节结构(51)，以及设置于所述辅基座(3)上的第二调节结构(52)，所述第一调节结构(51)与所述第二调节结构(52)相连接；

所述第二调节结构(52)与所述辅基座(3)靠近所述主基座(4)的表面相抵接；

所述驱动结构(6)与所述第一调节结构(51)连接，带动所述第一调节结构(51)转动。

6.根据权利要求5所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一调节结构(51)包括：

第一调节轴(511)，所述第一调节轴(511)穿设于所述主基座(4)，且与所述驱动结构(6)连接；所述驱动结构(6)能够驱动所述第一调节轴(511)旋转；

所述第一调节轴(511)的两端分别套设有第一轴承(512)和第二轴承(513)；

轴承套(514)，所述轴承套(514)包覆于所述第一轴承(512)和所述第二轴承(513)的外部，所述轴承套(514)靠近所述第一轴承(512)的一端面固定于所述主基座(4)靠近所述辅基座(3)的表面上。

7.根据权利要求6所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述驱动结构(6)包括电机(601)，所述第一调节结构(51)还包括：

联轴器(515)，通过所述联轴器(515)，所述第一调节轴(511)与所述电机(601)的输出轴连接；

轴承螺母(516)，所述轴承螺母(516)设置于所述第二轴承(513)和所述联轴器(515)之间，且套设于所述第一调节轴(511)上。

8.根据权利要求7所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二调节结构(520)包括：

第二调节轴(521)，所述第二调节轴(521)穿设于所述辅基座(3)，与所述第一调节轴(511)同轴设置，且与所述第一调节轴(511)连接，由所述第一调节轴(511)转动带动旋转；

所述第二调节轴(521)的第一端套设有锁母(522)，所述锁母(522)与所述辅基座(3)相卡接；

所述第二调节轴(521)的第二端套设有调节螺母(523)，所述调节螺母(523)与所述辅基座(3)靠近所述主基座(4)的表面相抵接，在所述调节螺母(523)由所述第二调节轴(521)旋转带动运动时，所述主基座(4)与所述辅基座(3)在所述第二位置之间的间隔距离变化。