[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板

权利要求书

1.一种阵列基板，包括一衬底基板，所述衬底基板划分有显示区和非显示区，其特征在于，所述阵列基板在所述非显示区包括：

多层绝缘层，所述多层绝缘层包括依次层叠于所述衬底基板上的层间介电层和第一平坦层；以及，

多条金属走线，所述多条金属走线包括第一金属走线、第二金属走线和第三金属走线，其中所述第一金属走线和所述第二金属走线设置于所述衬底基板和所述层间介电层之间并位于不同的绝缘层上，所述第三金属走线设置于所述第一平坦层上。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第二金属走线和所述第一金属走线在平行于所述衬底基板的平面上交替分布。

3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，在一平行于所述衬底基板的平面，相邻的所述第二金属走线和所述第一金属走线在平行于所述衬底基板的平面上间隔设置。

4.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板在所述非显示区内还具有至少一第一过孔，所述第一过孔由所述第一平坦层朝向所述衬底基板的方向延伸至所述第二金属走线或所述第一金属走线并暴露出所述第二金属走线或所述第一金属走线；

所述第三金属走线通过所述第一过孔电性连接于所述第二金属走线或所述第一金属走线。

5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括一第二平坦层，所述第二平坦层设置于所述第三金属走线上并覆盖所述第三金属走线和所述第一平坦层；

所述第一平坦层的厚度小于所述第二平坦层的厚度。

6.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所所述第一平坦层为一光阻材料层。

7.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述显示基板在所述显示区设有至少一薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括第一栅极、第二栅极、源极和漏极，其中：

所述源极和所述漏极设置于所述第一平坦层上；

所述第二栅极与所述第二金属走线设置于同一层所述绝缘层上，所述层间介电层覆盖所述第二栅极；

所述第一栅极与所述第一金属走线设置于同一层所述绝缘层上。

8.如权利要求7所述的阵列基板，其特征在于，所述多层绝缘层还包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层，其中：

所述第一栅极绝缘层覆盖于所述衬底基板上，所述第一栅极和所述第一金属走线设置于所述第一栅极绝缘层上；

所述第二栅极绝缘层覆盖所述第一栅极、所述第一金属走线和所述第一栅极绝缘层上，所述第二栅极和所述第二金属走线设置于所述第二栅极绝缘层上。

9.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供一衬底基板，所述衬底基板具有显示区和非显示区；

在所述衬底基板的非显示区依次制备第一栅极绝缘层、第一金属走线、第二栅极绝缘层、第二金属走线和层间介电层；

在所述层间介电层上制备第一平坦层的步骤；以及，

在所述第一平坦层上制备第三金属走线的步骤。

10.如权利要求9所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述阵列基板设有至少贯穿所述第一平坦层和所述层间介电层的过孔，则所述制作方法还包括：

将所述第一平坦层作为光阻层对所述阵列基板进行图案化处理，以获得所述过孔的步骤。

11.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括权利要求1-8中任一项所述的阵列基板。