[发明专利]一种长寿命二极管的制备工艺有效

专利信息
申请号: 202011466095.8 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN112750766B 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 李斌;李金栋 申请(专利权)人: 山东融创电子科技有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L21/48;H01L21/56;H01L29/861
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252800 山东省聊城市高*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 寿命 二极管 制备 工艺
【权利要求书】:

1.一种长寿命二极管的制备工艺,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1:二极管晶粒的制备

1.1:在硅晶片的厚度方向预切割,形成不完全切开的二极管晶粒,硅晶片的切割深度为硅晶片总厚度的2/3~3/4;

1.2:将在厚度方向预切割的硅晶片N面朝下放在晶粒裂解纸上,切割刀口方向朝上,轻压,使得不完全切开的二极管晶粒完全裂解,形成晶片;

步骤2:向铜引线电极喷雾化的松香异丙醇溶液

松香异丙醇溶液中,松香与异丙醇的质量比为1:10-15;

步骤3:装填

将两铜引线电极、两焊片、晶片装入工夹具内;各铜引线电极包括台面、引线;各铜引线电极、焊片、晶片的横截面均呈圆形,各铜引线电极、焊片、晶片同轴设置;

各铜引线电极的台面的尺寸等于晶片的尺寸,焊片的直径略大于晶片的直径;焊片的厚度为0.04-0.05mm;

步骤4:焊接

装填好的焊接舟,再次放入隧道炉中进行焊接,形成二极管焊接件;

隧道炉的保护气体喷口有五路,第一路喷口设置在隧道炉的的进料口,第五路喷口设置在隧道炉的出料口,第二路喷口、第三路喷口分别设置在隧道炉的加热段的底部、上部,第四路喷口设置在隧道炉的降温段;

每次开炉前,先打开第二路喷口、第三路喷口、第四路喷口,喷出保护气体,保持第二路喷口、第三路喷口、第四路喷口的流量为4500-5500升/小时,此时第一路喷口、第五路喷口关闭,将炉膛中的空气被通入的保护气体彻底赶净;然后打开第一路喷口、第五路喷口喷出保护气体,第一路喷口的流量控制在2000-2500升/小时,第五路喷口的流量控制在2500-3000升/小时;降低第二路喷口的流量至2500-3000升/小时,降低第三路喷口、第四路喷口的流量至3000-3500升/小时;

确认流量稳定时方可开始进料焊接;所述保护气体为氮气;焊接温度和时间为:以16.5±0.5℃/min的升温斜率在隧道炉的加热段加热焊接舟至330~340℃,焊接温度维持时间:8~10min;再将焊接舟送至隧道炉的降温段,以5.0±0.5℃/min的降温斜率降温至70±5℃,出炉,最后自然降至室温;

步骤5:清洗

包括如下步骤:

5.1:按照浓度>68%的硝酸:浓度>48%的氢氟酸:浓度>99%的冰醋酸:浓度>98%的硫酸的体积比=10:95-105:11-12:2-3混合搅拌制得1号液;1号液的酸洗温度不得超过28℃;用混合酸对焊接后的二极管焊接件酸洗130-150秒,然后用去离子水冲洗二极管焊接件;采取加热装置保证去离子水的温度控制在20-30℃,利于污物有效去除;冲洗二极管焊接件过程中,冲洗喷头来回摆动;

5.2:将浓度为85±1%的磷酸:浓度35±1%的双氧水:浓度>48%的氢氟酸:2-羟基膦酰基乙酸:纯水按照体积比=10:15-20:2-3:1-2:30混合搅拌制得2号液,2号液体的温度不得超过30℃,二极管焊接件在此酸洗液中清洗50-60秒,然后用去离子水冲洗;冲洗二极管焊接件过程中,冲洗喷头来回摆动;

5.3:将浓度25%~28%的氨水、浓度为35±1%的双氧水和纯水按照体积比为5-6:1:12-14比例混合均匀制得3号液,将3号液加热至60-65℃,使用3号液将二极管焊接件清洗50-60秒,然后用去65℃以上的离子水冲洗二极管焊接件;冲洗二极管焊接件过程中,冲洗喷头来回摆动;

5.4:清洗后的二极管焊接件在去离子水超声或者兆声清洗,然后用60℃以上的去离子水冲洗二极管焊接件;

5.5:二极管焊接件放入甲醇中浸泡;

5.6:将二极管焊接件烘干;

步骤6:塑封

对清洗烘干后的二极管焊接件的晶片及台面的径向外周表面上白胶,白胶固化后,进行二极管封装成型制得成品。

2.如权利要求1所述的一种长寿命二极管的制备工艺,其特征在于:将炉膛中的空气被通入的保护气体彻底赶净时,第二路喷口、第三路喷口、第四路喷口喷出气体的时间不少于40分钟。

3.如权利要求1所述的一种长寿命二极管的制备工艺,其特征在于:步骤6中,用模具及压机把塑封料包覆到已焊接二极管的有晶片部位,只将两引线裸露在外,实现对二极管封装成型。

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