[发明专利]一种晶圆离子清洁装置

权利要求书

1.一种晶圆离子清洁装置，包括晶圆(2)、托盘架(15)、托盘(16)和工作箱(17)，其特征在于：所述托盘架(15)固定安装在工作箱(17)后侧内壁上，所述托盘(16)搭放在托盘架(15)的上端面，所述工作箱(17)的后侧壁上开设有用于托盘(16)出入的槽孔；

所述托盘架(15)的前端面固定安装有马达(26)，所述马达(26)的输出端固定连接有底座(14)，所述底座(14)上设置有转向轴板(1)，所述转向轴板(1)与底座(14)之间通过合页(4)铰接；

所述底座(14)的上端面开设有滑块槽(9)，所述滑块槽(9)的中间位置处设置有挡板，所述挡板中固定内嵌有螺母(12)，所述螺母(12)的内部贯穿有丝杠(11)，所述丝杠(11)与螺母(12)相互螺纹配合，所述丝杠(11)的一端固定连接有第二电机(13)，所述丝杠(11)的另一端转动连接有滑块(10)，所述滑块(10)与第二电机(13)滑动卡接于滑块槽(9)中，所述滑块(10)的另一端铰接有连杆(8)，所述连杆(8)的另一端与转向轴板(1)的下端部铰接；

所述转向轴板(1)的上端面中间位置处设置有凸起的圆盘，所述圆盘两侧固定连接有两个转动轴(27)，两个所述转动轴(27)上固定安装有清洗喷头(6)，两个所述转动轴(27)外部转动连接有固定轮(7)，所述转向轴板(1)的左端部固定安装有第一电机(5)，所述第一电机(5)的输出端同轴连接有齿轮(25)，所述齿轮(25)对侧的转向轴板(1)上转动连接有左端转轮(23)，所述转向轴板(1)的右端部转动连接有棘爪(22)，所述棘爪(22)对侧的转向轴板(1)上转动连接有右端转轮(24)，所述棘爪(22)与转向轴板(1)之间设置有扭簧，所述齿轮(25)与左端转轮(23)之间以及棘爪(22)与右端转轮(24)之间设置有环形闭合的收紧带(3)，所述收紧带(3)的两侧外壁上设置有齿牙，所述齿轮(25)与收紧带(3)左侧齿牙啮合，所述棘爪(22)抵接收紧带(3)右侧齿牙，所述收紧带(3)将晶圆(2)箍压在两个固定轮(7)上，所述转向轴板(1)的底部固定连接有伸缩组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述工作箱(17)的底部安装有干式吸尘器(18)，所述工作箱(17)的下端侧壁上开设有排气口。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述托盘架(15)的前端面设置有竖直的防溅板，所述防溅板上开设有用于托盘(16)穿过的通孔。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述伸缩组件包括伸缩杆与滚轮架(21)，所述伸缩杆的端部与滚轮架(21)固定连接，所述伸缩杆上套设有弹簧(20)，所述弹簧(20)的两端分别抵紧滚轮架(21)与转向轴板(1)上，所述滚轮架(21)上转动连接有滚轮(19)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：两个所述清洗喷头(6)分别朝向晶圆(2)的前后两侧侧面上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述托盘(16)上固定有用于稳定晶圆(2)的吸盘。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述固定轮(7)的外壁上设置有用于卡住晶圆(2)的环形槽。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆离子清洁装置，其特征在于：所述晶圆(2)的外侧套设有环形载具，所述环形载具由两个可拆卸的半夹环卡接构成。