[发明专利]晶圆研磨用供料机构

权利要求书

1.晶圆研磨用供料机构，包括本体（1）和保护箱（18），其特征在于：所述本体（1）的外表面安装有面板（2），所述本体（1）的一侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）的一侧安装有传送装置（4），所述传送装置（4）的顶部安装有搬运盒（5），所述搬运盒（5）的内腔安装有底板（6），所述底板（6）的正面安装有第一电机（7），所述第一电机（7）的输出端安装有第一传动杆（8），所述第一传动杆（8）的一端铰接有转动板（9），所述转动板（9）的底部安装有吸盘（10），所述转动板（9）的顶部铰接有第二传动杆（11），所述升降装置（3）的内腔固定安装有第二电机（12），所述第二电机（12）的输出端安装有螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）的外围螺纹安装有升降板（14），所述升降板（14）的顶部安装有固定装置（15），所述固定装置（15）的内壁安装有固定板（16），所述固定板（16）的下方安装有传送装置（4），所述固定板（16）的侧壁铰接有滚筒（17），所述固定装置（15）的内壁安装有弹簧（19），所述弹簧（19）的一端套设有限位块（20），所述面板（2）与本体（1）、传送装置（4）、第一电机（7）以及第二电机（12）电性连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述底板（6）的正面设置有凹槽，所述第二传动杆（11）的一端位于底板（6）正面的凹槽中且与该凹槽尺寸相适配，

第二传动杆（11）是由两个相互铰接的直杆组成的，所述第二传动杆（11）远离转动板（9）的一端铰接于底板（6）的外表面。

3.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述固定装置（15）的顶部开设有通孔，所述保护箱（18）和固定装置（15）内腔的通孔尺寸相适配。

4.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述固定板（16）的数量为两个，两个所述固定板（16）设置在滚筒（17）的两端，所述滚筒（17）的数量为多个且多个滚筒（17）的外表面相互贴合，多个滚筒（17）呈直线均匀排列在固定板（16）的侧壁。

5.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述保护箱（18）底部的外表面设置有卡槽，所述限位块（20）的形状为梯形块，所述限位块（20）和保护箱（18）外表面的凹槽尺寸相适配。

6.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述搬运盒（5）的两侧侧壁均开设有通孔且该通孔位于传送装置（4）的正上方，所述搬运盒（5）和升降装置（3）的内腔开设有相连通的通孔。