[发明专利]具有可替换接口板的可重新构造的主机

权利要求书

1.一种器件制造系统的主机，包括：

基座；

多个机面，所述多个机面在所述基座上，其中所述多个机面中的第一机面包括第一框架；

盖，所述盖在所述多个机面上方，其中所述基座、所述盖和所述多个机面一起限定内部空间；

机器人臂，所述机器人臂在所述内部空间中；和

单个第一可替换接口板，所述单个第一可替换接口板附接到所述第一机面的所述第一框架，所述第一可替换接口板包括多个基板进出端口，其中：

所述多个基板进出端口中的第一基板进出端口被构造为给所述机器人臂提供通往第一工艺腔室的通路；并且

所述多个基板进出端口中的第二基板进出端口被构造为给所述机器人臂提供通往第二工艺腔室的通路。

2.如权利要求1所述的主机，其中所述第一机面具有第一长度，所述第一长度是所述多个机面中的第二机面的第二长度的至少两倍。

3.如权利要求2所述的主机，其中所述主机具有矩形形状，其中所述多个机面包括四个机面，其中所述第二机面垂直于所述第一机面，并且其中所述机器人臂是偏轴(off-axis)机器人臂。

4.如权利要求3所述的主机，其中所述第二机面包括第二框架，其中第三机面包括第三框架，并且其中第四机面包括第四框架，所述主机进一步包括：

第二接口板，所述第二接口板被密封到所述第二机面的所述第二框架；

第三接口板，所述第三接口板被密封到所述第三机面的所述第三框架；和

第四接口板，所述第四接口板被密封到所述第四机面的所述第四框架。

5.如权利要求1所述的主机，其中所述主机被构造为在真空下操作，其中所述第一机面的所述第一框架不承载，其中所述第一可替换接口板承载，并且其中所述第一可替换接口板承受由在所述主机的所述内部空间与所述主机的外部之间的压差引起的作用在所述主机上的竖直力。

6.如权利要求5所述的主机，其中所述第一可替换接口板包括在所述第一可替换接口板的内底表面上的台阶部，其中所述台阶部与在所述基座的侧壁上的唇部配合，并且其中所述竖直力在所述台阶部与所述唇部的界面处从所述第一可替换接口板传递到所述基座。

7.如权利要求5所述的主机，其中所述盖接触所述第一可替换接口板，并且其中所述盖不接触所述第一框架。

8.如权利要求5所述的主机，其中所述第一可替换接口板包括在所述第一可替换接口板的内底表面上的多个销，其中在所述基座的侧壁中的一个或多个特征部与所述多个销配合，并且其中所述竖直力在所述多个销与所述一个或多个特征部的界面处从所述第一可替换接口板传递到所述基座。

9.如权利要求1所述的主机，进一步包括：

第一O形环，所述第一O形环设置在所述第一框架的外表面上，其中所述第一O形环的外表面暴露于外部环境，并且其中所述第一O形环的内表面暴露于中间真空区域；和

第二O形环，所述第二O形环设置在所述第一框架的所述外表面上，其中所述第二O形环与所述第一O形环近似同心，其中所述第二O形环的外表面暴露于所述中间真空区域，并且其中所述第二O形环的内表面暴露于所述内部空间；

其中所述外部环境具有第一压力，其中所述中间真空区域要维持比所述第一压力低的第二压力，并且其中所述内部空间要维持比所述第二压力低的第三压力。

10.如权利要求9所述的主机，其中所述第一框架包括：

第一柱，所述第一柱在所述第一机面的第一侧面上；

第二柱，所述第二柱在所述第一机面的第二侧面上；

梁，所述梁连接所述第一柱和所述第二柱；和

一个或多个通道，所述一个或多个通道在所述第一柱中，其中所述一个或多个通道将所述中间真空区域流体地耦接到真空端口。