[发明专利]一种清洗设备

权利要求书

1.一种清洗设备，其特征在于，包括：

支撑结构；

设置在所述支撑结构上且用于盛放清洗剂的清洗腔；

设置在所述清洗腔底部的支撑台；

其中，所述支撑台上具有用于限位第一尺寸的晶圆匣的第一限位结构、以及用于限位第二尺寸的晶圆匣的第二限位结构；所述第一尺寸大于所述第二尺寸，且所述第一限位结构环绕在所述第二限位结构的四周。

2.如权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述第一限位结构包括设置在所述支撑台上的四个L形的第一凸起，所述四个第一凸起间隔分布且开口相对，以卡定所述第一尺寸的晶圆匣底部的两个支撑条的端部；

所述第二限位结构包括设置在所述支撑台上的四个L形的第二凸起，所述四个第二凸起间隔分布且开口相对，以卡定所述第二尺寸的晶圆匣底部的两个支撑条的端部；且所述四个第一凸起环绕在所述四个第二凸起的四周。

3.如权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，还包括位于所述清洗腔一侧且装载及卸载共用的转运台；

所述转运台包括设置在所述支撑结构上且具有多个支撑单元的载台，其中，每个支撑单元用于支撑一个所述第一尺寸的晶圆匣或所述第二尺寸的晶圆匣。

4.如权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，所述载台包括设置在所述支撑结构上且间隔分布的两个支撑板；且所述两个支撑板的间距小于所述第二尺寸的晶圆匣的底部的两个支撑条的间距；

每个支撑单元包括：设置在所述两个支撑板上的所述四个L形的第一凸起，所述四个第一凸起间隔分布且开口相对，以卡定所述第一尺寸的晶圆匣底部的两个支撑条的端部；

设置在所述两个支撑板上的四个L形的第二凸起，所述四个第二凸起间隔分布且开口相对，以卡定所述第二尺寸的晶圆匣底部的两个支撑条的端部；且所述四个第一凸起环绕在所述四个第二凸起的四周。

5.如权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，还包括设置在所述两个支撑板之间且用于将所述晶圆匣从一个支撑单元转移到另一个支撑单元上的第一转运单元。

6.如权利要求5所述的清洗设备，其特征在于，所述第一转运单元包括：

用于托住所述第一尺寸的晶圆匣底部或所述第二尺寸的晶圆匣底部的托板，且所述托板位于所述两个支撑板之间的空隙处；

设置在所述支撑结构上且且与所述托板的下表面固定连接的推杆，且所述推杆能够沿竖直方向带动所述托板上下滑动，还能够沿水平方向带动所述托板从一个所述支撑单元处移动到另一个所述支撑单元处。

7.如权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，还包括设置在所述支撑结构上且用于将所述晶圆匣在所述转运台及所述清洗腔之间移动的第二转运单元，且所述第二转运单元既能够转运所述第一尺寸的晶圆匣，又能够转运所述第二尺寸的晶圆匣。

8.如权利要求7所述的清洗设备，其特征在于，所述第二转运单元包括：

多个L形拉杆，所述L形拉杆的水平部分用于钩挂在所述晶圆匣上边沿的下表面处；

间隔分布的两个支撑臂，所述L形拉杆的竖直部分的端部与所述两个支撑臂中的一个支撑臂连接，且每个支撑臂上至少连接有两个所述L形拉杆；

与所述两个支撑臂连接的驱动机构，所述驱动机构带动所述两个支撑臂间距扩大或缩小，以夹持所述第一尺寸的晶圆匣或第二尺寸的晶圆匣。

9.如权利要求8所述的清洗设备，其特征在于，所述驱动机构包括：

延伸方向与所述两个支撑臂的延伸方向垂直的导轨，所述两个支撑臂均滑动装配在所述导轨上；

驱动所述两个支撑臂在所述导轨上向相互靠拢方向或相互分离方向滑动的驱动气缸。

10.如权利要求8所述的清洗设备，其特征在于，与同一个支撑臂连接的所述L形拉杆的水平部分连接有用于钩挂在所述晶圆匣上边沿的下表面处的钩板；

所述两个钩板上设置有多个夹持单元，每个夹持单元用于夹持一个所述第一尺寸的晶圆匣或第二尺寸的晶圆匣；其中，每个夹持单元包括设置在所述两个钩板上以将所述第一尺寸的晶圆匣或第二尺寸的晶圆匣进行限位的限位块。