[发明专利]多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置

权利要求书

1.一种多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于，包括针尖样品支撑台、普通样品台匹配台和样品转接部分，所述针尖样品支撑台安装在普通样品台匹配台上，样品转接部分对普通样品台匹配台进行固定；

所述针尖样品支撑台呈锥尖形状，将针尖样品焊接于针尖样品支撑台的锥尖顶端；

所述普通样品台匹配台呈球台形状，所述普通样品台匹配台与至少两个针尖样品支撑台焊接为一体，作为直接放置于TEM、SEM、EBSD或TKD设备的普通样品台；

所述样品转接部分的下部呈圆柱体形状，能够放置于三维原子探针装置的普通样品台上，所述样品转接部分的上部能夹持固定所述普通样品台匹配台，形成多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置；

普通样品台匹配台的球台形状的厚度为0.1～0.2mm，直径不大于3mm，在球台形状的一侧设置至少5个支撑架，将针尖样品支撑台和FIB切割的透射样品分别焊接在对应的支撑架上，形成普通样品台。

2.根据权利要求1所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：装载三维原子探针纳米针尖试样，并同时装载SEM、TEM、FIB、TKD的样品中的至少一种，形成多设备联用的通用接口装置。

3.根据权利要求1所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：将FIB切割的三维原子探针针尖样品焊接于针尖样品支撑台的锥尖顶端。

4.根据权利要求1所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：针尖样品支撑台由圆锥形部分和柱形部分一体形成，圆锥形部分的底部与柱形部分的端部连接，柱形部分的厚度为0.1～0.2mm，柱形部分的断面尺寸为0.2～0.3mm，圆锥形部分的高度为0.3～0.4mm，圆锥形部分的顶端被截去锥尖部，截面尺寸不大于10μm，被截去的锥尖部的高度不小于10μm。

5.根据权利要求1所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：样品转接部分的下端为圆柱体组件(3)，直径不低于2mm，高度为7～10mm，圆柱体组件(3)的下端能放置于三维原子探针样品台上；样品转接部分的上端为长方体部件，长方体部件与圆柱体组件(3)固定连接，长方体部件的总体长为13～15mm，宽为4～6mm，厚为4～6mm；

长方体部件由两部分组成，一部分为夹持部分(1)，另一部分为固定部分(2)；夹持部分(1)长为4～6mm，宽为4～6mm，厚为4～6mm，开有凹槽连接部；固定部分(2)的长8～10mm，宽为4～6mm，厚为4～6mm，其中一端为与凹槽连接部相匹配的凸台连接部，用于与凹槽连接部衔接配合，固定组装形成长方体部件组装结构，将普通样品台匹配台夹持固定在夹持部分(1)和固定部分(2)之间的普通样品匹配台放置处(5)；长方体部分的中心为直径2±0.2mm的螺孔，以螺钉(4)进行装配，形成整体固定连接结构。

6.根据权利要求5所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：所述样品转接部分的圆柱体组件(3)和长方体部件连接形成“T”形结构，圆柱体组件(3)的端部与长方体部件的固定部分(2)连接。

7.根据权利要求5所述多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，其特征在于：夹持部分(1)开有横断面为半圆形的凹槽连接部；固定部分(2)的一端为与凹槽连接部相匹配的横断面为半圆形的凸台连接部。