[发明专利]一种晶圆薄片切割质量检测设备

权利要求书

1.一种晶圆薄片切割质量检测设备，其特征在于，包括两组立板(1)、两组第一转轴(3)、四组链轮(4)、两组传动链(5)和两组环形导轨(6)，两组立板(1)的外部左下侧和右下侧均设置有支腿(2)，两组第一转轴(3)均纵向位于两组立板(1)之间，两组第一转轴(3)分别转动安装在两组立板(1)的左侧和右侧，四组链轮(4)分别安装在两组第一转轴(3)的前侧和后侧，两组传动链(5)分别敷设前侧两组链轮(4)和后侧两组链轮(4)上，两组环形导轨(6)分别位于两组传动链(5)的外侧，两组环形导轨(6)的外侧分别安装在两组立板(1)的内侧壁上，两组环形导轨(6)上均匀滑动设置有四组第一滑块(7)，前侧环形导轨(6)上的两组第一滑块(7)和后侧环形导轨(6)上的两组第一滑块(7)位置对应，四组第一滑块(7)上均设置有第一连接板(8)，四组第一连接板(8)分别与两组传动链(5)的外壁连接，两组立板(1)之间设置有两组固定环(9)，两组固定环(9)的前侧和后侧分别与四组第一连接板(8)的内侧连接，两组固定环(9)上均套设有吸附筒(10)，两组吸附筒(10)的方向对应，两组吸附筒(10)分别与两组固定环(9)转动连接，两组吸附筒(10)的内侧分别穿过两组固定环(9)并伸出至两组固定环(9)的内侧，两组吸附筒(10)的外侧均为漏斗状，两组吸附筒(10)的外端均密封，两组吸附筒(10)的外端上均匀连通设置有多组吸孔，多组吸孔分别与两组吸附筒(10)内部连通，两组吸附筒(10)的内端均与外界连通，每组吸附筒(10)的外壁上均设置有第一锥齿环(11)和密封圈(12)，两组第一锥齿环(11)分别在两组固定环(9)之间，两组密封圈(12)分别在两组固定环(9)的外侧，两组密封圈(12)的外侧与两组吸附筒(10)的外端平齐，每组吸附筒(10)的内部均设置有第一油缸推杆(13)，两组第一油缸推杆(13)的方向相反，每组第一油缸推杆(13)上均设置有两组第二连接板(14)并通过两组第二连接板(14)固定在对应吸附筒(10)的内壁上，每组第一油缸推杆(13)的伸出端均设置有活塞板(15)，每组活塞板(15)的外壁均与对应的吸附筒(10)内壁接触并可在吸附筒(10)内壁上密封滑动，两组立板(1)之间右上侧纵向设置有第二转轴(16)，第二转轴(16)的前侧和后侧分别转动安装在两组立板(1)上，第二转轴(16)的前侧和右侧第一转轴(3)的前侧均穿过前侧立板(1)并伸出至前侧立板(1)的前方，第二转轴(16)上设置有第二锥齿环(17)，第二锥齿环(17)的位置与两组第一锥齿环(11)的位置对应，前侧立板(1)的左前侧设置有中控箱(18)，前侧立板(1)的右前侧设置有动力装置，动力装置与第二转轴(16)的前侧和右侧第一转轴(3)的前侧传动连接，后侧立板(1)的右上侧设置有纵向推动装置，纵向推动装置上设置有激光测距仪(19)，激光测距仪(19)位置与第二转轴(16)的位置对应同时激光测距仪(19)的位置与两组吸附筒(10)的外端位置对应，中控箱(18)分别与动力装置、纵向推动装置、第一油缸推杆(13)和激光测距仪(19)信号连接。