[发明专利]适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具在审

专利信息
申请号: 202011403027.7 申请日: 2020-12-04
公开(公告)号: CN112609166A 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 朱蓓蓓;孟光;秦琳;墨洪磊;兰洁;袁航;陆波;陈勰;杨英杰;程辉 申请(专利权)人: 上海航天控制技术研究所
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊;郭国中
地址: 201109 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 适用于 半球 谐振子 一次 成膜无 遮挡 镀膜 夹具
【说明书】:

本发明提供了一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子的中心轴的一端与卡头座相接触,卡头座与卡头连接,谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。本发明应用于谐振子表面金属化镀膜过程中,可使夹持夹具与谐振子接触面积小,对谐振子任何表面无遮挡,所有表面能够一次成膜,无需翻面镀制;夹具对谐振子有效夹持,可避免半球谐振子在装夹过程中的损伤,能够与运动机构配合完成多维运动。本发明解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题,提高生产效率。

技术领域

本发明涉及零件装夹技术领域,具体地,涉及一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具。

背景技术

半球谐振子表面金属化镀膜要求在谐振子表面,包括曲面、圆柱面、台阶面内外表面等进行的一次无遮挡成膜,谐振子结构见附图2。使用现有常规夹具进行谐振子表面镀膜,由于其夹持方式的限制,镀制时会造成半球谐振子内外表面存在局部遮挡阴影,且无法实现所有表面一次成膜,需经过多次装夹镀制实现半球谐振子全表面的膜层镀制。目前,针对半球谐振子曲面、圆柱面、台阶面等全表面进行的一次无遮挡成膜夹具还未见报道。

经过检索,专利文献CN106826318A公开了一种单缸双锁型气动真空柔性夹具,包括基座、多个弹簧支撑定位单元及用于对弹簧支撑定位单元进行锁紧的气动锁紧机构,弹簧支撑定位单元安装在基座上,气动锁紧机构安装在基座上,且位于两个弹簧支撑定位单元之间,两个弹簧支撑定位单元共用一个气动锁紧机构,通过吸盘对薄壁件进行真空吸附并通过气动锁紧机构牢固锁紧,以实现工件的稳定可靠夹持。但是该现有技术并不能针对半球谐振子全表面实现一次无遮挡成膜。

因此,针对半球谐振子曲面、圆柱面、台阶面等全表面进行的一次无遮挡成膜夹具的研发亟待推进。

发明内容

针对现有技术中的缺陷,本发明的目的是提供一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,解决了半球谐振子内外表面无法一次性无遮挡成膜的问题,提高生产效率。

根据本发明提供的一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具,包括:顶针、卡头、弹性件和拉杆,谐振子中心轴的一端与卡头相接触,卡头座与卡头连接;谐振子中心轴的另一端固定在顶针上;弹性件套设于拉杆上;顶针和拉杆形成拉杆顶针,拉杆顶针的压力由弹性件进行调节。

优选地,当适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具处于工作状态时,谐振子中心轴的另外一端通过与拉杆顶针接触,同时通过调节伸缩长度以及连接件位置来匹配工件的尺寸大小。

优选地,还包括拉筒,拉筒套设在弹性件和拉杆的外部。

优选地,还包括拉杆座板,卡头和顶针通过拉杆座板相连。

优选地,还包括转架卡头,转架卡头的一端嵌套在拉杆座板的一端,转架卡头的另一端与卡头相连接。

优选地,还包括卡头座,卡头座装于卡头上,进行装配时,谐振子中心轴的一端插入卡头座底面的凹槽中进行固定,谐振子中心轴的另外一端将拉杆往下压,使拉杆顶针插入谐振子中心轴的中心孔中,拉杆处于弹回状态。

优选地,拉筒处于远离顶针的一端。

优选地,适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具仅与谐振子中心轴的两端接触,均无需刚性夹持,配合完成谐振子空间多维运动。

与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:

1、本发明对于适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具的设计能够在表面金属化镀膜过程中夹持夹具与谐振子接触面积小,对谐振子任何表面无遮挡,所有表面能够一次成膜,无需翻面镀制;夹具对谐振子有效夹持,能够与运动机构配合完成多维运动。

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