[发明专利]适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具

权利要求书

1.一种适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，包括：顶针(2)、卡头(3)、卡头座(5)、弹性件(9)和拉杆(10)，

谐振子中心轴(1)的一端与所述卡头(3)相接触，所述卡头座(5)与卡头(3)连接；

谐振子中心轴(1)的另一端固定在所述顶针(2)上；

所述弹性件(9)套设于所述拉杆(10)上；

所述顶针(2)和所述拉杆(10)形成拉杆顶针，所述拉杆顶针的压力由所述弹性件(9)进行调节。

2.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，当适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具处于工作状态时，谐振子中心轴(1)的另外一端通过与拉杆顶针接触，同时通过调节伸缩长度以及连接件位置来匹配工件的尺寸大小。

3.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，还包括拉筒(8)，所述拉筒(8)套设在所述弹性件和所述拉杆(10)的外部。

4.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，还包括拉杆座板(6)，所述卡头(3)和所述顶针(2)通过所述拉杆座板(6)相连。

5.根据权利要求4所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，还包括转架卡头(4)，所述转架卡头(4)的一端嵌套在所述拉杆座板(6)的一端，所述转架卡头(4)的另一端与卡头(3)相连接。

6.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，进行装配时，谐振子中心轴(1)的一端插入所述卡头座(5)底面的凹槽中进行固定，谐振子中心轴(1)的另外一端将拉杆(10)往下压，使所述拉杆顶针插入谐振子中心轴(1)的中心孔中，所述拉杆(10)处于弹回状态。

7.根据权利要求3所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，所述拉筒(8)处于远离顶针(2)的一端。

8.根据权利要求1所述的适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具，其特征在于，适用于半球谐振子的一次成膜无遮挡镀膜夹具仅与谐振子中心轴(1)的两端接触，均无需刚性夹持，配合完成谐振子空间多维运动。