[发明专利]一种改进型光学薄膜制备工艺在审
| 申请号： | 202011392208.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112522668A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 钱佳琪;陈小刚 | 申请（专利权）人： | 苏州苏克新型材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;G02B1/10 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 光学薄膜 制备 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进型光学薄膜制备工艺，包括：工艺室（1）、蒸发器（2）、下加热器（3）、基片（4）、上加热器（5）、冷却管（6）；其特征在于：所述工艺室（1）内部的底部设有蒸发器（2），且蒸发器（2）与工艺室（1）螺栓固定；所述工艺室（1）内部的底部设有下加热器（3），且下加热器（3）水平穿设在蒸发器（2）上；所述工艺室（1）内部的顶部设有基片（4），且基片（4）与工艺室（1）螺栓固定；所述工艺室（1）内部的顶部设有上加热器（5），且上加热器（5）水平穿设在基片（4）上；所述工艺室（1）内部的顶部设有冷却管（6），且冷却管（6）水平穿设在基片（4）上。
2.根据权利要求1所述的一种改进型光学薄膜制备工艺，其特征在于：所述蒸发器（2）与基片（4）上下相对应。
3.根据权利要求1所述的一种改进型光学薄膜制备工艺，其特征在于：所述上加热器（5）设在冷却管（6）的上方。
4.根据权利要求1所述的一种改进型光学薄膜制备工艺，其特征在于：所述冷却管（6）的两端分别向外贯穿工艺室（1）的左右两侧壁至外部，且冷却管（6）处在基片（4）内部的部分呈蛇形状。
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