[发明专利]薄膜晶体管阵列基板以及包括该阵列基板的电子装置在审

专利信息
申请号: 202011370619.3 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN113013179A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 高永贤 申请(专利权)人: 乐金显示有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;G02F1/133;G02F1/1362
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 段丹辉;刘久亮
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 薄膜晶体管 阵列 以及 包括 电子 装置
【说明书】:

薄膜晶体管阵列基板以及包括该阵列基板的电子装置。提供了一种薄膜晶体管阵列基板以及包括该薄膜晶体管阵列基板的电子装置。该薄膜晶体管阵列基板包括:第一有源层,所述第一有源层被设置在基板上;第一栅极绝缘膜,所述第一栅极绝缘膜被设置在第一有源层上;第一栅极,所述第一栅极被设置在第一栅极绝缘膜上以与第一有源层的一部分交叠;第一绝缘膜,所述第一绝缘膜被设置在第一栅极上;第二有源层,所述第二有源层被设置在第一绝缘膜上以与第一有源层和第一栅极交叠;第二栅极绝缘膜,所述第二栅极绝缘膜被设置在第二有源层上;以及第二栅极,所述第二栅极被设置在第二栅极绝缘膜上以与第二有源层的一部分交叠。第一栅极和第二栅极彼此交叠,因此可以减小由晶体管占据的面积。

技术领域

本公开的实施方式涉及薄膜晶体管(TFT)阵列基板以及包括该TFT阵列基板的电子装置。

背景技术

随着信息社会的发展,对诸如显示装置和照明器材之类的各种电子装置的需求以各种形式增加。这样的电子装置可以包括其中设置有数据线和选通线的面板、用于驱动数据线的数据驱动器以及用于驱动选通线的选通驱动器。

在作为电子装置的核心的面板中,可以设置有大量用于各种功能的晶体管来驱动面板。

为此,面板制造工艺复杂且难以管理。因此,追求工艺的方便可能导致晶体管的器件性能降低。

此外,晶体管的集成度被增加以实现电子装置的诸如高分辨率之类的优异特性。然而,由于制造工艺、设计等方面的问题,不可能无限地减小晶体管的尺寸。因此,有必要提供一种晶体管,其结构使得电子装置能够被高度集成而不会降低晶体管的特性。

发明内容

本公开的实施方式旨在提供一种薄膜晶体管(TFT)阵列基板以及包括该TFT阵列基板的电子装置,该TFT阵列基板具有以下结构:通过在基板上在垂直于基板的方向上层叠至少两个晶体管来减小晶体管在水平方向上占据的面积。

另外,本公开的实施方式旨在提供一种TFT阵列基板以及包括该TFT阵列基板的电子装置,该TFT阵列基板具有以下结构:至少两个晶体管的栅极被连接至彼此对应的节点,使得能够减小泄漏电流。

另外,本公开的实施方式旨在提供一种TFT阵列基板以及包括该TFT阵列基板的电子装置,该TFT阵列基板具有以下结构:适当地设置用于在彼此交叠的至少两个晶体管中所包括的元件之间的电连接而形成的接触孔,以防止在制造过程期间包括在晶体管中的元件损坏。

根据本公开的一方面,提供了一种电子装置,该电子装置包括面板和用于驱动面板的驱动电路。被设置在面板中的晶体管包括:第一有源层,所述第一有源层被设置在基板上;第一栅极绝缘膜,所述第一栅极绝缘膜被设置在第一有源层上以与第一有源层的一部分交叠;第一栅极,所述第一栅极被设置在第一栅极绝缘膜上以与第一有源层的一部分交叠;第一绝缘膜,所述第一绝缘膜被设置在第一栅极上;第二有源层,所述第二有源层被设置在第一绝缘膜上以与第一有源层和第一栅极交叠;第二栅极绝缘膜,所述第二栅极绝缘膜被设置在第二有源层上;以及第二栅极,所述第二栅极被设置在第二栅极绝缘膜上以与第二有源层的一部分交叠。第一栅极和第二栅极彼此交叠。

根据本公开的一方面,提供了TFT阵列基板,该TFT阵列基板包括:基板;第一有源层,所述第一有源层被设置在基板上;第一栅极绝缘膜,所述第一栅极绝缘膜被设置在第一有源层上;第一栅极,所述第一栅极被设置在第一栅极绝缘膜上以与第一有源层的一部分交叠;第一绝缘膜,所述第一绝缘膜被设置在第一栅极上;第二有源层,所述第二有源层被设置在第一绝缘膜上以与第一有源层和第一栅极交叠;第二栅极绝缘膜,所述第二栅极绝缘膜被设置在第二有源层上;以及第二栅极,所述第二栅极被设置在第二栅极绝缘膜上以与第二有源层的一部分交叠。第一栅极和第二栅极彼此交叠。

根据本公开的实施方式,能够提供一种TFT阵列基板以及包括该TFT阵列基板的电子装置,该TFT阵列基板具有以下结构:通过在基板上在垂直于基板的方向上层叠至少两个晶体管来减小晶体管在水平方向上占据的面积。

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