[发明专利]一种晶圆切片表面研磨设备

权利要求书

1.一种晶圆切片表面研磨设备，其结构包括研磨机(1)、操作面板(2)、输送管(3)、工作台(4)，所述研磨机(1)底部通过焊接连接于工作台(4)上表面，所述操作面板(2)嵌设于研磨机(1)前侧，所述输送管(3)嵌固于研磨机(1)顶部，其特征在于：

所述研磨机(1)包括固定板(11)、驱动机(12)、转杆(13)、定位筒(14)、夹紧器(15)，所述固定板(11)嵌固于研磨机(1)内部，所述驱动机(12)安装在固定板(11)上表面，所述转杆(13)通过间隙连接于研磨机(1)左右内壁之间，且转杆(13)与驱动机(12)顶端相啮合，所述定位筒(14)嵌套于转杆(13)外侧，所述夹紧器(15)嵌固于研磨机(1)内底部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述定位筒(14)包括定位槽(141)、气压腔(142)、升降筒(143)、输电管(144)、卷绕器(145)，所述定位槽(141)水平贯穿于定位筒(14)内部，所述气压腔(142)嵌设于定位筒(14)内底部，且气压腔(142)顶部与输送管(3)末端相接通，所述升降筒(143)通过活动卡合贯穿于气压腔(142)底部，所述输电管(144)右端与升降筒(143)左侧相连接，所述卷绕器(145)配合安装于输电管(144)左端且嵌固于研磨机(1)内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述升降筒(143)包括压板(a1)、蓄电器(a2)、电机(a3)、磨砂盘(a4)，所述压板(a1)底部通过焊接连接于升降筒(143)顶部，所述蓄电器(a2)嵌固于升降筒(143)内部，所述电机(a3)安装在蓄电器(a2)正下方，所述磨砂盘(a4)与电机(a3)位于同一轴线上，且磨砂盘(a4)上表面紧贴于升降筒(143)底部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述磨砂盘(a4)包括磨砂板(a41)、压辊(a42)、毛刷(a43)、连接块(a44)，所述磨砂板(a41)顶部紧贴于磨砂盘(a4)底部，所述压辊(a42)通过活动卡合连接于磨砂板(a41)表面，所述毛刷(a43)顶端嵌固于定位槽(141)底部，所述连接块(a44)通过螺栓贯穿于磨砂板(a41)中段。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述夹紧器(15)包括支撑杆(151)、置物槽(152)、夹紧块(153)、弹簧(154)、支撑板(155)，所述支撑杆(151)底部嵌固于夹紧器(15)内底部，所述置物槽(152)嵌设于夹紧器(15)上内壁，所述夹紧块(153)通过活动卡合连接于置物槽(152)左右两壁，所述弹簧(154)通过焊接连接于夹紧块(153)外侧与夹紧器(15)内壁之间，所述支撑板(155)嵌固于夹紧器(15)内壁，且支撑板(155)底部紧贴于支撑杆(151)顶端，同时支撑板(155)上表面紧贴于夹紧块(153)底部。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述夹紧块(153)包括夹板(b1)、转块(b2)、排屑管(b3)，所述夹板(b1)与夹紧块(153)内侧为一体化结构，所述转块(b2)通过螺栓连接于夹板(b1)上下两端，所述排屑管(b3)嵌固于夹紧块(153)内部。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆切片表面研磨设备，其特征在于：所述排屑管(b3)包括排屑槽(b31)、导板(b32)、限位簧(b33)、排屑口(b34)，所述排屑槽(b31)嵌设于排屑管(b3)内部，所述导板(b32)右端通过焊接连接于排屑槽(b31)内壁，所述限位簧(b33)通过焊接连接于导板(b32)另一端与排屑槽(b31)内壁之间，所述排屑口(b34)嵌设于排屑槽(b31)背部。