[发明专利]一种晶圆切片机加工用夹持设备

权利要求书

1.一种晶圆切片机加工用夹持设备，其结构包括固定底座(1)、底夹装置(2)、支撑柱(3)、转动轴(4)、顶触装置(5)，所述底夹装置(2)嵌固安装于固定底座(1)上端内部中端，所述固定底座(1)左端与支撑柱(3)下端相焊接，所述支撑柱(3)上端通过转动轴(4)与顶触装置(5)左端相铰接，所述顶触装置(5)右端位于底夹装置(2)正上方，其特征在于：

所述底夹装置(2)包括限位环板(21)、夹片(22)、推杆(23)、弹簧杆(24)、底部吸附装置(25)，所述限位环板(21)下端嵌固安装于固定底座(1)上端内部，并且限位环板(21)内部设有夹片(22)，所述夹片(22)外侧端焊接有推杆(23)，所述推杆(23)采用间隙配合贯穿于限位环板(21)内部，并且推杆(23)外侧端内部设有弹簧杆(24)，所述弹簧杆(24)外侧端焊接于固定底座(1)内部，所述底部吸附装置(25)嵌固安装于固定底座(1)内侧底部，并且底部吸附装置(25)位于限位环板(21)内侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机加工用夹持设备，其特征在于：所述底部吸附装置(25)包括底板(25a)、卡扣夹板(25b)、顶簧(25c)、伸缩软管(25d)、吸口装置(25e)，所述底板(25a)嵌固安装于固定底座(1)内侧底部，并且底板(25a)位于限位环板(21)内侧，所述卡扣夹板(25b)下端采用间隙配合安装于底板(25a)上端内部，所述卡扣夹板(25b)外侧端与顶簧(25c)相固定，所述卡扣夹板(25b)底部与伸缩软管(25d)外侧端相固定，所述伸缩软管(25d)内侧端嵌固安装于吸口装置(25e)外侧端并且相贯通，所述吸口装置(25e)嵌固安装于底板(25a)上端内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切片机加工用夹持设备，其特征在于：所述吸口装置(25e)包括固定座(e1)、排气管(e2)、导气管(e3)、吸附嘴(e4)、弹簧(e5)，所述固定座(e1)嵌固安装于底板(25a)上端内部，并且排气管(e2)贯穿于固定座(e1)内部，所述排气管(e2)外侧端与伸缩软管(25d)内侧端相贯通，所述排气管(e2)嵌固安装于导气管(e3)外侧表面并且相贯通，所述导气管(e3)上端与吸附嘴(e4)下端相贯通，并且吸附嘴(e4)嵌固安装于固定座(e1)上端内部，所述吸附嘴(e4)内部安装有弹簧(e5)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切片机加工用夹持设备，其特征在于：所述顶触装置(5)包括连接横板(51)、调节螺杆(52)、抵触板(53)，所述连接横板(51)一端通过转动轴(4)与支撑柱(3)上端相铰接，并且连接横板(51)另一端内部与调节螺杆(52)螺纹连接，所述调节螺杆(52)下端与抵触板(53)顶部中端相固定，所述抵触板(53)位于底夹装置(2)正上方。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆切片机加工用夹持设备，其特征在于：所述抵触板(53)包括升降框(531)、压簧(532)、缓冲机构(533)，所述升降框(531)上端与调节螺杆(52)下端相固定，所述压簧(532)安装于升降框(531)内部下端，并且压簧(532)下端与缓冲机构(533)上端相固定。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆切片机加工用夹持设备，其特征在于：所述缓冲机构(533)包括连接板(33a)、橡胶板(33b)、橡胶管套(33c)，所述连接板(33a)上端与压簧(532)下端相固定，并且橡胶板(33b)设在连接板(33a)底部，所述橡胶板(33b)内部安装有橡胶管套(33c)。