[发明专利]流体过滤装置及流体过滤方法

说明书

本发明提供一种流体过滤装置及流体过滤方法，其中，包括：外层滤芯和目标滤芯；所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。本发明能够减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种流体过滤装置及流体过滤方法。

背景技术

在半导体加工的过程中，通常需要使用一些流体对晶片的表面进行处理，如清洗液和研磨液等。但是在使用前，为保证晶片的处理效果，通常需要采用过滤的方式对流体内的颗粒的大小进行限定。

然而，现有的在对晶片加工所需要流体进行过滤时，通常由于流体中的杂质颗粒的大小远大于滤芯的孔径的大小，致使滤芯容易发生堵塞的现象，甚至会对滤芯造成损坏，从而影响晶片的加工质量。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供的流体过滤装置及流体过滤方法，通过在目标滤芯的外围周侧设置外层滤芯能够有效的减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。

第一方面，本发明提供一种流体过滤装置，包括：外层滤芯和目标滤芯；

所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。

可选地，所述外层滤芯的孔径不小于1微米。

可选地，所述目标滤芯的孔径不大于1纳米。

可选地，所述目标滤芯的材料包括：尼龙。

可选地，所述外层滤芯的材料硬度和强度均大于所述所述目标滤芯的材料硬度和强度；或

所述外层滤芯的材料硬度大于所述目标滤芯的材料强度；或

所述外层滤芯的材料强度均大于所述目标滤芯的材料强度。

可选地，所述流体过滤装置还包括：机壳；

所述机壳套接在所述外层滤芯的外围周侧，所述机壳开设有至少一个进口。

可选地，所述流体过滤装置还包括：密封盖；

所述密封盖固定设置于所述内侧滤芯的两端，所述密封盖用于密封所述内侧滤芯与所述外侧滤芯之间的空隙。

可选地，所述内侧滤芯内开设有空腔；

至少一个密封盖开设有出口，所述出口与所述空腔连通。

可选地，所述流体过滤装置还包括：排送件；

所述排送件用于输送流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；

所述排送件固定设置在所述出口的位置，或所述排送件固定设置在所述至少一个进口的位置。

第二方面，本发明提供一种流体过滤方法，包括：

提供流体过滤装置，所述流体过滤装置包括：外层滤芯和目标滤芯；所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧，所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数；

从所述外层滤芯的外侧输送待过滤流体，使待过滤流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯；

从所述目标滤芯的内侧获取目标流体。

本发明实施例提供的流体过滤装置及流体过滤方法，通过在目标滤芯的外围周侧设置外层滤芯能够在对待过滤流体进行过滤时，有效的减少堵塞现象的发生，并能够延长目标滤芯的使用寿命。

附图说明

图1为本申请一实施例中为体现外层滤芯和目标滤芯位置关系的结构图；

图2为本申请一实施例的流体过滤装置的剖视图。