[发明专利]流体过滤装置及流体过滤方法在审
申请号: | 202011341928.8 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN114534341A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 申埈燮;张月;杨涛;卢一泓;刘青 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 |
主分类号: | B01D29/58 | 分类号: | B01D29/58 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 赵永刚 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 过滤 装置 方法 | ||
1.一种流体过滤装置,其特征在于,包括:外层滤芯和目标滤芯;
所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧,所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数。
2.根据权利要求1所述的流体过滤装置,其特征在于,所述外层滤芯的孔径不小于1微米。
3.根据权利要求1所述的流体过滤装置,其特征在于,所述目标滤芯的孔径不大于1纳米。
4.根据权利要求1所述的流体过滤装置,其特征在于,所述目标滤芯的材料包括:尼龙。
5.根据权利要求1所述的流体过滤装置,其特征在于,所述外层滤芯的材料硬度和强度均大于所述所述目标滤芯的材料硬度和强度;或
所述外层滤芯的材料硬度大于所述目标滤芯的材料强度;或
所述外层滤芯的材料强度均大于所述目标滤芯的材料强度。
6.根据权利要求1所述的流体过滤装置,其特征在于,所述流体过滤装置还包括:机壳;
所述机壳套接在所述外层滤芯的外围周侧,所述机壳开设有至少一个进口。
7.根据权利要求6所述的流体过滤装置,其特征在于,所述流体过滤装置还包括:密封盖;
所述密封盖固定设置于所述内侧滤芯的两端,所述密封盖用于密封所述内侧滤芯与所述外侧滤芯之间的空隙。
8.根据权利要求7所述的流体过滤装置,其特征在于,所述内侧滤芯内开设有空腔;
至少一个密封盖开设有出口,所述出口与所述空腔连通。
9.根据权利要求8所述的流体过滤装置,其特征在于,所述流体过滤装置还包括:排送件;
所述排送件用于输送流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯;
所述排送件固定设置在所述出口的位置,或所述排送件固定设置在所述至少一个进口的位置。
10.一种流体过滤方法,其特征在于,包括:
提供流体过滤装置,所述流体过滤装置包括:外层滤芯和目标滤芯;所述外层滤芯套接在所述目标滤芯的外围周侧,所述外层滤芯的目数大于所述目标滤芯的目数;
从所述外层滤芯的外侧输送待过滤流体,使待过滤流体依次经过所述外层滤芯和所述目标滤芯;
从所述目标滤芯的内侧获取目标流体。
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