[发明专利]一种集成电路V形槽开槽机

说明书

一种集成电路V形槽开槽机，属集成电路制造技术领域，包括传送部、基板、支撑部和工作部，基板随传送部向前移动，支撑部位于传送部上方，工作部安装在支撑部上。传送部包括主传送带和压紧带，主传送带具有两个，分别位于两侧，压紧带具有两个，分别位于两个主传送带的上方。支撑部包括横梁和滑槽，横梁位于传送部上方，横梁上具有滑槽，滑槽内安装工作部。工作部包括主轴、垫块、轴承、螺母、刀具、带轮和齿轮，主轴安装在轴承内，轴承压入垫块上部，垫块安装在支撑部的滑槽内，螺母将垫块固定在滑槽上，刀具安装主轴底部。最外侧的一个主轴上安装带轮，带轮通过皮带连接外部驱动装置。

技术领域

本发明属于集成电路制造技术领域，尤其涉及一种集成电路V形槽开槽机。

背景技术

集成电路制造的前期通常将多块集成电路阵列排布在一个大的基板上，整个大的基板完成制造后再分解成多个集成电路单元，为了便于后期的分解工作，通常预先在大的基板上按照集成电路单元的尺寸开出V形槽，后期分解时可以容易的从V形槽处断开。当前常见的做法是使用V形开槽刀具在预定的开槽位置开槽，如遇到划分的单元数量较多时，V形开槽刀具需要多次往复运动才能完成多条V形槽的开槽工作，对于不同尺寸的开槽操作，还需要频繁编制新的数控程序来控制开槽机工作。

发明内容

本发明提供一种集成电路V形槽开槽机，以解决上述背景技术中的问题。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种集成电路V形槽开槽机，包括传送部、基板、支撑部和工作部，基板随传送部向前移动，支撑部位于传送部上方，工作部安装在支撑部上。传送部包括主传送带和压紧带，主传送带具有两个，分别位于两侧，压紧带具有两个，分别位于两个主传送带的上方。支撑部包括横梁和滑槽，横梁位于传送部上方，横梁上具有滑槽，滑槽内安装工作部。工作部包括主轴、垫块、轴承、螺母、刀具、带轮和齿轮，主轴安装在轴承内，轴承压入垫块上部，垫块安装在支撑部的滑槽内，螺母将垫块固定在滑槽上，刀具安装主轴底部，根据需要开槽的数量以及V形槽的距离确定工作部的安装数量，并选择相应尺寸的齿轮，将齿轮安装在主轴顶部，相邻两个齿轮之间互相拟合，使得多个主轴之间转动互相传递，驱动所有主轴同步转动。最外侧的一个主轴上安装带轮，带轮通过皮带连接外部驱动装置，外部驱动装置驱动带轮转动，带轮带动其所在的主轴转动。

进一步的，主传送带和压紧带之间预留间隙以容纳基板。

进一步的，主传送带和压紧带之间预留的间隙控制在基板厚度的0.9倍。

进一步的，压紧带的前部比主传送带短，便于完成开槽的基板从传送部上取出。

进一步的，主轴包括主杆、卡盘和六角头，主杆安装在轴承上，主杆底部为卡盘，卡盘选用最为常见的三爪卡盘，刀具安装在卡盘上，主杆顶部为六角头，齿轮安装在六角头上。

进一步的，垫块包括方头、方块、轴承孔、螺纹台和中心孔，方头位于方块顶部，方块嵌入滑槽内，方头内具有轴承孔，轴承孔内安装轴承，放款底部具有螺纹台，螺纹台上安装螺母，螺母将垫块固定在横梁上的合适位置，垫块中部具有中心孔，中心孔内穿过主轴。

本发明的有益效果是：

本发明用于集成电路板基板的开槽操作，其模块化的设计使得整个开槽机可以根据基板上需要开出的V形槽的数量和间隔配置所需数量的工作部，并配备合适尺寸的齿轮连环驱动各个工作部，基板一次行程便可以完成一向的所有V形槽的开槽工作，本领域技术人员可以很容易的在本技术方案的基础上设置互相垂直的两条传送带相互衔接以完成一次行程双向开槽的操作。

附图说明

图1是本发明的示意图；

图2是本发明的右视图；

图3是本发明的爆炸图；

图4是本发明的局部爆炸图；