[发明专利]一种集成电路V形槽开槽机有效
| 申请号: | 202011318664.4 | 申请日: | 2020-11-23 |
| 公开(公告)号: | CN112466785B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
| 发明(设计)人: | 凌丹璐 | 申请(专利权)人: | 江西世星科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 南昌佳诚专利事务所 36117 | 代理人: | 闵蓉;刘守正 |
| 地址: | 344100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 集成电路 开槽 | ||
1.一种集成电路V形槽开槽机,包括传送部(10)、基板(20)、支撑部(30)和工作部(40),其特征在于,所述基板(20)随传送部(10)向前移动,支撑部(30)位于传送部(10)上方,工作部(40)安装在支撑部(30)上,传送部(10)包括主传送带(11)和压紧带(12),主传送带(11)具有两个,分别位于两侧,压紧带(12)具有两个,分别位于两个主传送带(11)的上方,基板(20)从主传送带(11)和压紧带(12)之间的间隙沿着传送部(10)向前移动,支撑部(30)包括横梁(31)和滑槽(32),横梁(31)位于传送部(10)上方,横梁(31)上具有滑槽(32),滑槽(32)内安装工作部(40),工作部(40)包括主轴(41)、垫块(42)、轴承(43)、螺母(44)、刀具(45)、带轮(46)和齿轮(47),主轴(41)安装在轴承(43)内,轴承(43)压入垫块(42)上部,垫块(42)安装在支撑部(30)的滑槽(32)内,螺母(44)将垫块(42)固定在滑槽(32)上,刀具(45)安装主轴(41)底部,根据需要开槽的数量以及V形槽的距离确定工作部(40)的安装数量,并选择相应尺寸的齿轮(47),将齿轮(47)安装在主轴(41)顶部,相邻两个齿轮(47)之间互相拟合,最外侧的一个主轴(41)上安装带轮(46),带轮(46)通过皮带连接外部驱动装置。
2.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机,其特征在于,所述主传送带(11)和压紧带(12)之间预留间隙以容纳基板。
3.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机,其特征在于,所述主传送带(11)和压紧带(12)之间预留的间隙控制在基板厚度的0.9倍。
4.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机,其特征在于,所述压紧带(12)的前部比主传送带(11)短,便于完成开槽的基板(20)从传送部(10)上取出。
5.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机,其特征在于,所述主轴(41)包括主杆(411)、卡盘(412)和六角头(413),主杆(411)安装在轴承(43)上,主杆(411)底部为卡盘(412),卡盘(412)选用最为常见的三爪卡盘,刀具(45)安装在卡盘(412)上,主杆(411)顶部为六角头(413),齿轮(47)安装在六角头(413)上。
6.如权利要求1所述的集成电路V形槽开槽机,其特征在于,所述垫块(42)包括方头(421)、方块(422)、轴承孔(423)、螺纹台(424)和中心孔(425),方头(421)位于方块(422)顶部,方块(422)嵌入滑槽(32)内,方头(421)内具有轴承孔(423),轴承孔(423)内安装轴承(43),方块(422)底部具有螺纹台(424),螺纹台(424)上安装螺母(44),螺母(44)将垫块(42)固定在横梁(31)上的合适位置,垫块(42)中部具有中心孔(425),中心孔(425)内穿过主轴(41)。
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