[发明专利]一种金刚石陀螺谐振子纳米制造装备

权利要求书

1.一种金刚石陀螺谐振子纳米制造装备，该装备包括激光装置、纳米移动平台装置、原位在线检测装置、镀膜装置以及聚焦离子束装置，对金刚石陀螺谐振子进行纳米精度制造，使对称度、平行度、垂直度小于100nm，其特征在于：

(1)激光装置，激光脉冲频率在1-500kHz可调，脉冲宽度在5-300ps可调，激光斑点直径在5-40μm可调，功率在0-100W可调，同时实现粗加工和精加工；激光束为皮秒激光，脉冲宽度为100-300ps；

(2)纳米移动平台装置，实现X，Y，Z三坐标轴的移动和绕Z轴的转动，移动精度小于10nm，转动精度小于0.02°；

(3)原位在线检测装置，利用激光干涉仪对加工质量进行原位检测；

(4)镀膜装置，采用离子镀膜仪；

(5)聚焦离子束装置，加速电压在2-30kV可调，电流在20pA-50nA可调；利用30kV，20nA聚焦离子束对金刚石进行粗修，利用5kV，20pA聚焦离子束对金刚石进行精修，去除加工过程中产生的非晶层和晶体损伤层。