[发明专利]一种扩散设备及其加热控制方法

权利要求书

1.一种扩散设备，其特征在于，包括：

扩散炉体，用于对放置其中的晶圆进行扩散加工，所述扩散炉体内自上而下划分成多个加热区域；

多个加热装置，用于给所述扩散炉体加热，依照所述扩散炉体的高度方向设置在所述扩散炉体的侧壁上，且所述加热装置与所述加热区域一一对应设置；

多个监测装置，与多个所述加热装置一一对应设置，用于监测所述加热装置中加热电阻的阻值，并将所述加热电阻的阻值发送给报警装置；

所述报警装置，用于将所述加热电阻的阻值与预设阻值进行比较，若比较结果符合预设条件则报警。

2.根据权利要求1所述的扩散设备，其特征在于，所述扩散设备还包括：

多个温度测量装置，依照所述扩散炉体的高度方向设置，且所述温度测量装置与所述加热区域一一对应设置，用于测量对应的所述加热区域的温度。

3.根据权利要求2所述的扩散设备，其特征在于，所述温度测量装置包括热电偶。

4.根据权利要求2或3所述的扩散设备，其特征在于，所述扩散设备还包括：

温度控制器，与所述多个温度测量装置和报警装置连接，用于根据所述温度测量装置测得的温度值或者报警装置发送的报警信息，对所述加热装置进行控制。

5.根据权利要求4所述的扩散设备，其特征在于，所述扩散设备还包括：

电源，所述电源与多个加热装置及温度控制器连接。

6.一种扩散设备的加热控制方法，其特征在于，包括：

利用监测装置监测扩散炉体的至少一个加热装置中加热电阻的阻值，并将所述加热电阻的阻值发送给报警装置；

所述报警装置将所述加热电阻的阻值与预设阻值进行比较，若比较结果符合预设条件则报警。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用温度测量装置测量扩散炉体中对应的加热区域的温度；

根据温度测量装置测得的温度值或者报警装置发送的报警信息，使用温度控制器对加热装置进行控制。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述预设条件包括：

若所述比较结果中加热电阻的阻值与预设阻值相比为无穷大值，则加热电阻断裂。

9.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述预设条件包括：

若所述比较结果中加热电阻的阻值大于预设阻值，且不是无穷大值，则加热电阻变形。