[发明专利]一种显影点的控制方法在审
| 申请号: | 202011300942.3 | 申请日: | 2020-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN112816500A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
| 发明(设计)人: | 宋登洲;程磊;王京华 | 申请(专利权)人: | 富力天晟科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 显影 控制 方法 | ||
1.一种显影点的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:定制图形,在CAM资料中的废料区域添加若干个“米”字图;
步骤二:图形转移,将“米”字图形通过曝光的方式转移到基材上;
步骤三:显影调节,以平时显影速度为中值,显影速度以0.1-0.2m/min递减及递增,每个显影速度各显影1-2pnl,显影后制得测试板;
步骤四:测量残留距,将步骤三显影后的测试板做氯化铜测试,百倍镜下量测板面“米”字图形尖角处未显影掉的基材到尖角的距离,氯化铜测试的目的在于增加铜面与未显影掉基材之间的对比度,便于量测;
步骤五:判断处理,步骤四测量的测试板若为正片,则电镀后切片;测试板若为负片,直接切片;
步骤六:挑选切片,从步骤五制得的切片中找出线路垂直度最好的相邻两个切片,其对应的显影速度即为该基材的最佳显影速度;
步骤七:循环检测,为确保准确度,重复以上步骤多做几次测试,则后续即以此距离为标准,确定最佳显影速度。
2.根据权利要求1所述的一种显影点的控制方法,其特征在于:步骤二中,基材为干膜或感光油墨。
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