[发明专利]一种芯片测试装置及其测试方法

说明书

本发明公开了一种芯片测试装置及其测试方法，属于芯片测试领域。一种芯片测试装置，包括检测箱和设备箱，所述检测箱固定连接在设备箱上，所述设备箱内转动连接有转动杆，所述设备箱上固定连接有气缸和活塞缸，所述推杆上固定连接有摩擦杆，所述气缸上固定连接有摩擦板，所述摩擦杆滑动连接在摩擦板上，所述转动杆通过往复机构与推杆相连接，所述气缸上固定连接有出气管，所述活塞缸上滑动连接有活塞杆；本发明使用简单，操作方便，通过把不同检测环境放置在一起进行检测，减少了检测时间，提高了检测效率，同时增加了检测的多样性，提高了对不同检测数据下芯片数据的收集，增加了使用安全保障。

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种芯片测试装置及其测试方法。

背景技术

芯片测试是一个比较大的问题，直接贯穿整个芯片设计与量产的过程中，通常我们生长单晶是是按照111晶向进行提拉生长，但是由于各种外界因素，比如温度，提拉速度，以及量子力学的各种随机性，导致生长过程中会出现错位，这个就称为缺陷；缺陷产生还有一个原因就是离子注入导致的，即使退火也未能校正过来的非规整结构，这些存在于半导体中的问题，会导致器件的失效，进而影响整个芯片，从而使得需要对芯片进行测试从而获得合格的芯片产品，所以需要通过芯片测试装置进行测试；芯片的测试主要分三大类：芯片功能测试、性能测试、可靠性测试，芯片产品要上市三大测试缺一不可；可靠性测试是芯片通过了功能与性能测试，得到了好的芯片，但是芯片会不会被冬天里最讨厌的静电弄坏，在雷雨天、三伏天、风雪天能否正常工作，以及芯片能用一个月、一年还是十年等等，这些都要通过可靠性测试进行评估。

现有的测试装置对芯片的耐高温和防水等测试采用分开检测，不仅增加了检测的时间，且大大降低了检测速度，因此我们提出了一种一种芯片测试装置及其测试方法。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中对芯片可靠性检测分开检测效率低的问题，而提出的一种芯片测试装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种芯片测试装置，包括检测箱和设备箱，所述检测箱固定连接在设备箱上，所述设备箱内转动连接有转动杆，所述设备箱上固定连接有气缸和活塞缸，所述气缸上滑动连接有推杆，所述推杆上固定连接有摩擦杆，所述气缸上固定连接有摩擦板，所述摩擦杆滑动连接在摩擦板上，所述转动杆通过往复机构与推杆相连接，所述气缸上固定连接有出气管，所述出气管远离气缸的一端固定连接在检测箱内，所述活塞缸上滑动连接有活塞杆，所述活塞缸上固定连接有出水管，所述检测箱上固定连接有高压喷头，所述出水管与高压喷头相连接，所述设备箱内固定连接有驱动机构，所述驱动机构与转动杆转动相连，所述检测箱上固定连接有支撑板，所述支撑板上固定连接有喷气头，所述喷气头与出气管相连接。

优选的，所述驱动机构包括电机、第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述电机固定连接在设备箱上，所述第一锥齿轮固定连接在电机输出端，所述第二锥齿轮固定连接在转动杆上，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合相连。

优选的，所述往复机构包括偏心轮和转套，所述偏心轮固定连接在转动杆上，所述转套转动连接在偏心轮上，所述转套与推杆转动相连。

优选的，所述设备箱上固定连接有固定盒，所述固定盒上固定连接有连接管，所述连接管固定连接在检测箱上，所述固定盒上转动连接有连接杆，所述连接杆上固定连接有叶轮和第一凸轮，所述第一凸轮与活塞杆相抵，所述设备箱内固定连接有水箱，所述水箱与活塞缸相连接。

优选的，所述检测箱上固定连接有静电板，所述检测箱上滑动连接有滑杆，所述滑杆上固定连接有滑块，所述滑块与静电板相贴，所述转动杆上固定连接有第二凸轮，所述第二凸轮与滑杆相抵。

优选的，所述检测箱上固定连接有工作台，所述工作台上固定连接有检测台，所述检测台上设置有被检测件。

优选的，所述检测箱上开设有排水槽，所述排水槽通过排水管与水箱相连接。