[发明专利]原子气室的漏率检测方法及系统

说明书

本发明提供了一种原子气室的漏率检测方法及系统，该方法包括：准备两端开口的第一安瓿瓶；将原子气室放置在第一安瓿瓶的第一存储区内；将第一安瓿瓶的第一存储区的开口端接入真空系统，将烧结密封后的第一安瓿瓶存储设定时间；当达到设定时间后，将第一检测区的开口端接入质谱系统的真空管路；利用质谱系统对第一检测区和真空管路抽真空，当达到设定真空度后，开启质谱系统的质谱分析功能；利用击打装置对第一烧结头进行击打破碎，对第一存储区内的气体成分及第一管道系统内的压力进行检测分析；计算获取原子气室释放气体的压力。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中气室漏率检测精度低且无法获取泄漏气体的气体成分的技术问题。

技术领域

本发明涉及气体漏率检测技术领域，尤其涉及一种原子气室的漏率检测方法及系统。

背景技术

原子气室内含两种以上不同成分的工作气体，气体纯度和压力对气室的性能影响明显，尤其在长期存放过程中，气体成分的变化将直接导致原子气室性能下降甚至功能消失，因此需对气室在长期存放过程中气体泄漏情况进行定期检测。

目前对气室漏率的检测主要通过气室内充入工作气体前对气室抽真空后在气室外部喷氦气，通过连接真空系统的质谱检漏仪检测通过气室壁渗透到真空管路内的氦气情况判断气室漏率，该检测手段对于较大缺陷可以判断，对于微小漏率限于检漏仪的精度和真空管路的长度和密封性则难以鉴别，同时也无法准确获取泄漏气体的气体成分，这导致部分检漏合格的气室在一段时间的使用过程出现气体泄漏从而影响系统性能及使用。

发明内容

本发明提供了一种原子气室的漏率检测方法及系统，能够解决现有技术中气室漏率检测精度低且无法获取泄漏气体的气体成分的技术问题。

根据本发明的一方面，提供了一种原子气室的漏率检测方法，原子气室的漏率检测方法包括：准备两端开口的第一安瓿瓶，第一安瓿瓶包括第一瓶体和第一烧结头，第一烧结头设置在第一瓶体的中部，第一安瓿瓶具有第一检测区和第一存储区，第一检测区设置在第一烧结头的一侧，第一存储区设置在第一烧结头的另一侧；将原子气室放置在第一安瓿瓶的第一存储区内；将第一安瓿瓶的第一存储区的开口端接入真空系统，通过真空系统对第一安瓿瓶的第一存储区抽真空并对抽真空后的第一安瓿瓶的第一存储区的开口端进行烧结密封；将烧结密封后的第一安瓿瓶存储设定时间；当第一安瓿瓶的存储达到设定时间后，将第一安瓿瓶的第一检测区的开口端接入质谱系统的真空管路，在质谱系统的真空管路内放置击打装置；利用质谱系统对第一安瓿瓶的第一检测区和真空管路抽真空，当达到设定真空度后，关闭质谱系统的抽真空功能，开启质谱系统的质谱分析功能；利用击打装置对第一烧结头进行击打破碎以使第一检测区与第一存储区相连通，利用质谱系统对第一存储区内的气体成分进行分析并通过压力检测装置对第一安瓿瓶和真空管路所构成的第一管道系统内的压力进行检测；根据第一管道系统与第一安瓿瓶的第一存储区的体积比值以及第一管道系统内的压力计算获取原子气室释放气体的压力以完成原子气室的漏率检测。