[发明专利]原子气室的漏率检测方法及系统

权利要求书

1.一种原子气室的漏率检测方法，其特征在于，所述原子气室的漏率检测方法包括：

准备两端开口的第一安瓿瓶(10)，所述第一安瓿瓶(10)包括第一瓶体(11)和第一烧结头(12)，所述第一烧结头(12)设置在所述第一瓶体(11)的中部，所述第一安瓿瓶(10)具有第一检测区(10a)和第一存储区(10b)，所述第一检测区(10a)设置在所述第一烧结头(12)的一侧，所述第一存储区(10b)设置在所述第一烧结头(12)的另一侧；

将原子气室放置在所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)内；

将所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)的开口端接入真空系统，通过所述真空系统对所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)抽真空并对抽真空后的所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)的开口端进行烧结密封；

将烧结密封后的所述第一安瓿瓶(10)存储设定时间；

当所述第一安瓿瓶(10)的存储达到设定时间后，将所述第一安瓿瓶(10)的第一检测区(10a)的开口端接入质谱系统(20)的真空管路(22)，在所述质谱系统(20)的真空管路(22)内放置击打装置(30)；

利用所述质谱系统(20)对所述第一安瓿瓶(10)的第一检测区(10a)和所述真空管路(22)抽真空，当达到设定真空度后，关闭所述质谱系统(20)的抽真空功能，开启所述质谱系统(20)的质谱分析功能；

利用所述击打装置(30)对所述第一烧结头(12)进行击打破碎以使所述第一检测区(10a)与所述第一存储区(10b)相连通，利用所述质谱系统(20)对所述第一存储区(10b)内的气体成分进行分析并通过压力检测装置对第一安瓿瓶(10)和真空管路(22)所构成的第一管道系统内的压力进行检测；

根据所述第一管道系统与所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)的体积比值以及所述第一管道系统内的压力计算获取原子气室释放气体的压力以完成原子气室的漏率检测。

2.根据权利要求1所述的原子气室的漏率检测方法，其特征在于，在准备两端开口的第一安瓿瓶(10)之前，所述漏率检测方法还包括：

准备第二安瓿瓶，所述第二安瓿瓶与所述第一安瓿瓶(10)的结构及材质相同，所述第二安瓿瓶包括第二瓶体和第二烧结头，所述第二烧结头设置在所述第二瓶体的中部，所述第二安瓿瓶具有第二检测区和第二存储区，所述第二检测区设置在所述第二烧结头的一侧，所述第二存储区设置在所述第二烧结头的另一侧；

将所述第二安瓿瓶的第二存储区的开口端接入真空系统，通过所述真空系统对所述第二安瓿瓶的第二存储区抽真空并对抽真空后的所述第二安瓿瓶的第二存储区的开口端进行烧结密封；

将烧结密封后的所述第二安瓿瓶存储设定时间；

当所述第二安瓿瓶的存储达到设定时间后，将所述第二安瓿瓶的第二检测区的开口端接入质谱系统(20)的真空管路(22)，在所述质谱系统(20)的真空管路(22)内放置击打装置(30)；利用所述质谱系统(20)对所述第二安瓿瓶的第二检测区和所述真空管路(22)抽真空，当达到设定真空度后，关闭所述质谱系统(20)的抽真空功能，开启所述质谱系统(20)的质谱分析功能；

利用所述击打装置(30)对所述第二烧结头进行击打破碎以使所述第二检测区与所述第二存储区相连通，利用所述质谱系统(20)对所述第二存储区内的气体成分进行分析并通过压力检测装置对第二安瓿瓶和真空管路(22)所构成的第二管道系统内的压力进行检测；

根据第二管道系统与所述第二安瓿瓶的第二存储区的体积比值以及所述第二管道系统内的压力计算获取所述第二安瓿瓶的第二存储区的压力；

在获取了第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)内的气体成分以及原子气室释放气体的压力之后，所述漏率检测方法还包括：利用所述第二安瓿瓶的第二存储区内的气体成分以及所述第二存储区的压力对所述第一存储区(10b)内的气体成分以及所述原子气室释放气体的压力进行修正以完成所述原子气室的漏率检测。

3.根据权利要求1所述的原子气室的漏率检测方法，其特征在于，在将原子气室放置在所述第一安瓿瓶(10)的第一存储区(10b)内之前，所述漏率检测方法还包括：对原子气室的外壳以及所述第一安瓿瓶(10)进行清洗，对清洗干净的所述原子气室的外壳以及所述第一安瓿瓶(10)进行烘干。