[发明专利]基板的弧度检测方法及其系统

权利要求书

1.基板的弧度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：在定位板上固定多个千分表感应器，在定位板上设置载物台，载物台上设有多个通槽，千分表感应器的表头穿过通槽向上伸出；

S2：对基板表面进行清洗和擦拭，去除掉基板表面的污物；

S3：将待检测的基板置于载物台上，并且两侧的限位块对其有效的限位，基板的底面与多个千分表感应器的感应表头充分接触；

S4：基板向下压千分表感应器的千分表头，千分表头受力往回收缩，千分表感应器感应到收缩量，并将该数据传输给计算机；

S5：计算机收集到基板表面不同位置处的收缩量数据，通过算法对检测到的收缩量数据进行处理，计算机通过设定的公式计算出基板表面多个方向上指定三点的高度差，计算机将所得处的高度差值与标准范围进行比较，如在标准范围内，其数值则显示为淡绿色，大于标准上限显示淡紫色，小于标准范围显示淡红色，最终得到基板的变形弧度检测结果，系统根据检测结构提示基板合格或者不合格。

2.根据权利要求1所述的基板的弧度检测方法，其特征在于：在定位板上固定九个千分表感应器，九个千分表感应器呈3X3阵列设置；基板的底面与九个千分表感应器的感应表头充分接触，每3个千分表感应器呈一列且检测到该列上的收缩量数据，再将这些收缩量数据传输至计算机，通过算法得到基板的弧度检测结果。

3.基板的弧度检测系统，其特征在于：包括支撑柱（1），支撑柱（1）上设有定位板（2），定位板（2）上设有多个连接柱（3），连接柱（3）上设有载物台（4）；所述的定位板（2）下侧部设有多个千分表感应器（5），千分表感应器（5）上设有千分表头（6），千分表头（6）穿过定位板（2）设置在定位板（2）的上侧面上；所述的载物台（4）上设有多个通槽（7），千分表头（6）穿设在通槽（7）内，载物台（4）的上部两侧设有定位块（8），支撑柱（1）的一侧设有计算机（9），计算机（9）与千分表感应器（5）相连接。

4.根据权利要求3所述的基板的弧度检测系统，其特征在于：所述的千分表感应器（5）共有9个。

5.根据权利要求3所述的基板的弧度检测系统，其特征在于：所述的千分表头（6）由固定套筒（601）和千分表探头（602）组成。

6.根据权利要求3所述的基板的弧度检测系统，其特征在于：所述的计算机（9）包括对数据的处理模块和图像成形的模块。

7.根据权利要求3所述的基板的弧度检测系统，其特征在于：所述的通槽（7）共有9组，且呈3X3方阵布置。