[发明专利]气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202011267533.8 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112825296A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 郑和俊;北邨友志 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 供给 系统 及其 控制 方法 等离子体 处理 装置 | ||
本公开提供一种气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置，能够响应性良好地分配气体。该气体供给系统被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与气体源之间，并且具有：流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，第一线路将气体源与第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，第二线路将气体源和第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中第一节流孔和第二节流孔具有相同的尺寸；以及控制部，其构成为控制各流量调整线路中的第一阀和第二阀的开闭。
技术领域
本公开涉及一种气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置。
背景技术
已知一种从多个气体导入部向腔室内供给处理气体来对被载置于腔室内的载置台的基板实施期望的处理的等离子体处理装置。
在专利文献1中公开了一种在气体管路中将被导入的气体的气流分割为气体的两个独立的出口流的流动控制部。
专利文献1：美国专利第8,772,171号
发明内容
在一个方面，本公开提供一种响应性良好地分配气体的气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置。
为了解决上述课题，根据一个方式，提供一种气体供给系统，其被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与至少一个气体源之间，所述气体供给系统具有：流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，所述第一线路将所述至少一个气体源与所述第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，所述第二线路将所述至少一个气体源与所述第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中所述第一节流孔和所述第二节流孔具有相同的尺寸；以及控制部，其构成为控制各流量调整线路中的所述第一阀和所述第二阀的开闭。
根据一个方面，能够提供一种响应性良好地分配气体的气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置。
附图说明
图1是表示等离子体处理装置的概要的一例的截面图。
图2是气体分离器的一例的结构示意图。
图3是控制部中存储的表的一例。
图4是说明控制部进行的流量比控制的一例的流程图。
图5是表示节流孔的尺寸的组合的一例的图。
图6是表示模拟结果的曲线图的一例。
图7是表示等离子体处理装置的概要的一个其它例的截面图。
图8是气体分离器的一个其它例的结构示意图。
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